公开(公告)号：CN102449748B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201080020748.8

申请日：2010-05-07

申请人： 宾夕法尼亚大学理事会

发明人： 阿兰·T·小约翰松 ,  莱恩·A·琼斯 ,  塞缪尔·M·卡米斯

IPC分类号： H01L21/36

CPC分类号： H01L21/0271 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L51/0032 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/0558

摘要： 本发明描述了制造纳米结构、包括由碳纳米管构成的纳米结构的方法，和通过这些方法制备的纳米结构、器件和组件。

公开(公告)号：CN102449748A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201080020748.8

申请日：2010-05-07

申请人： 宾夕法尼亚大学理事会

发明人： 阿兰·T·小约翰松 ,  莱恩·A·琼斯 ,  塞缪尔·M·卡米斯

IPC分类号： H01L21/36

CPC分类号： H01L21/0271 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L51/0032 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/0558

摘要： 本发明描述了制造纳米结构、包括由碳纳米管构成的纳米结构的方法，和通过这些方法制备的纳米结构、器件和组件。