公开(公告)号：CN105143864A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201480008838.3

申请日：2014-02-14

Applicant: 安特卫普大学 ,  FEI公司

Inventor： D·范德克 ,  U·洛肯 ,  H·施塔克 ,  S·巴尔斯

IPC: G01N23/04 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/265 ,  G01N23/04 ,  G01N2223/0565 ,  G01N2223/612 ,  H01J37/06 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明描述了一种用于进行柔软物质目标(17)的高分辨率电子显微术的方法。所述方法包括利用具有球面像差校正(10)的电子显微镜(1)照射柔软物质目标，所述球面像差校正在散射在柔软物质目标上的热漫散射电子的频带内具有基本上恒定的传递函数。所述方法包括检测在所述柔软物质上散射的热漫散射(TDS)电子，然后利用所检测的热漫散射电子获得所述柔软物质目标的图像。