公开(公告)号：CN118053923A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202410016775.1

申请日：2024-01-05

Applicant: 安徽大学

Inventor： 谢峰 ,  段玉 ,  杨国锋 ,  俞本立

IPC: H01L31/0236 ,  B82Y15/00 ,  B82Y40/00 ,  H01L31/0304 ,  H01L31/105 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明属于半导体光电器件技术领域内的一种蛾眼结构背照式日盲紫外探测器及其制备方法，包括依次层叠生长的双面抛光c面蓝宝石衬底、AlN缓冲层、N型AlxGa1‑xN层、I型AlyGa1‑yN有源层和P型AlyGa1‑yN层，c面蓝宝石衬底上表面形成PIN结构的背照式日盲紫外探测器；其中，N型AlxGa1‑xN层和P型AlyGa1‑yN层上生长有欧姆接触电极；c面蓝宝石衬底下表面设有纳米蛾眼阵列结构，纳米蛾眼阵列结构分别包括半椭球形蛾眼结构、圆锥形蛾眼结构和高斯形蛾眼结构。本发明提出纳米仿生蛾眼结构的蓝宝石衬底，利用蛾眼表面纳米量级的周期性微小凸起，所显示出的高透射来实现减反增透效果，并且采用背照式接收光线，结合PIN结构，可以最大程度地利用光，增加器件的光学利用率，提升器件的光响应性能。