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公开(公告)号：CN119224520A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202411718781.8
申请日：2024-11-28
Applicant: 安徽大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 本发明涉及晶体管测试领域，特别是涉及一种功率器件阈值电压漂移测量方法及系统。本发明的功率器件阈值电压漂移测量方法，对功率器件连续施加若干个设定脉冲周期的特定脉冲信号，特定脉冲信号的脉冲波形包括栅应力阶段和测量阶段，栅应力阶段为对功率器件的栅极施加恒定栅应力，测量阶段为对功率器件的栅极施加栅极脉冲信号、对功率器件的漏极施加漏极脉冲信号；获得测量阶段的漏极电流‑栅极电压转移特性曲线；根据初始转移特性曲线提取初始电压；将阈值电压和初始电压值的差值作为阈值电压漂移值。本发明能够在保证快速测量的同时也兼具快速切换所带来的精准测量，很好地规避自发热效应给功率器件带来的影响。
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