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公开(公告)号:CN119608077A
公开(公告)日:2025-03-14
申请号:CN202510162327.7
申请日:2025-02-14
Applicant: 安徽亚格盛电子新材料股份有限公司
Abstract: 本发明涉及电子材料技术领域,提供一种高纯金属配合物前驱体的合成装置,通过设置反应釜进行反应,反应釜连通正己烷/四氢呋喃储罐、正丁基锂储罐,DMSO储罐,盐酸水溶液滴加罐、环戊二烯/取代环戊二烯滴加罐、溴丙烷/液化二甲胺滴加罐和固体加料器进行原料添加,反应釜连通筒锥式三合一过滤机进行过滤,筒锥式三合一过滤机连通蒸馏釜/分液釜进行蒸馏或分液,蒸馏釜/分液釜连通精馏塔精馏,蒸馏釜/分液釜连通反应釜进行回料;蒸馏釜/分液釜连通蒸馏冷凝器进行蒸馏冷凝回收原料;本发明可以先制备正丙基环戊二烯,再制备正丙基环戊二烯基三氯化锆;最后制备得到正丙基环戊二烯基三(二甲氨基)锆。
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公开(公告)号:CN119119107A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202411273848.1
申请日:2024-09-12
Applicant: 安徽亚格盛电子新材料股份有限公司 , 全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
IPC: C07F7/10 , C07F17/00 , C07C209/82 , C07C211/65
Abstract: 本发明公开了一种制备半导体级金属前驱体和硅基前驱体的纯化方法及装置,包括送料管以及起连通的导料管与增压管;增压管一端设有恒压组件,且恒压管与精馏塔连通,增压管底端设有自锁阀,且自锁阀与送料组件连通;本发明中,通过增压管一段固定连接的外接管所连接的增压设备将送料管以及增压管中的压力进行增压与精馏塔内的压力呈一致状态,当精馏塔与恒压管中压力等同时,位于送料管一端设置的控制阀被动开启,实现驱动组件将送料管中的原料在同等压力下送入精馏塔中,避免物料在缺压的状态下导致精馏塔内的压力失衡,降低精馏塔纯化的效率。
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