含有机金属化合物的气体的供给装置

    公开(公告)号:CN106062244A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201480076925.2

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: C23C16/448 H01L21/205

    CPC分类号: C23C16/4481

    摘要: 本发明提供一种能够长时间稳定地供给含有机金属化合物的气体的有机金属化合物的供给装置。含有机金属化合物的气体的供给装置(1)具备容器(10)、供给部(13)和高比重物。容器(10)具有内部空间(10a)、载气的导入口(10b)和排出口(10c)。导入口(10b)连接于内部空间(10a)的下部。排出口(10c)连接于内部空间(10a)的上部。供给部(13)位于内部空间(10a)。供给部(13)中配置有含有机金属化合物的颗粒与填充材料的混合物。高比重物在内部空间(10a)中配置于供给部(13)之上。高比重物的比重比含有机金属化合物的颗粒的比重高。