公开(公告)号：CN110312918B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN201780059474.5

申请日：2017-09-26

申请人： 学术医疗中心

发明人： B·I·阿维茨

IPC分类号： G01J3/453 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02 ,  G02B6/12

摘要： 揭示一种高分辨率单芯片光谱仪。本发明的实施例类似于傅里叶变换光谱仪；然而，本发明的实施例不具有移动部件。说明性实施例是具有多个嵌套的马赫‑曾德尔干涉仪MZI的光谱仪，其中所有MZI在其样本臂及参考臂中的每一者中共享至少一个表面波导区段。所述样本臂及参考臂中的光信号沿其长度在一系列离散位置处经由电光学控制方向耦合器分接，所述电光学控制方向耦合器在每一臂中由均匀长度波导部分分开，但其中所述均匀长度在所述样本臂及参考臂中是不同的，从而为每一MZI的所述臂提供不同路径长度差。来自所述样本臂及参考臂的分接光在低损耗光束组合器处重新组合，以产生作为所述臂中的时间延迟差的函数的光功率分配。

公开(公告)号：CN110312918A

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201780059474.5

申请日：2017-09-26

申请人： 学术医疗中心

发明人： B·I·阿维茨

IPC分类号： G01J3/453 ,  G01J3/02 ,  G01B9/02 ,  G02B6/12

摘要： 揭示一种高分辨率单芯片光谱仪。本发明的实施例类似于傅里叶变换光谱仪；然而，本发明的实施例不具有移动部件。说明性实施例是具有多个嵌套的马赫-曾德尔干涉仪MZI的光谱仪，其中所有MZI在其样本臂及参考臂中的每一者中共享至少一个表面波导区段。所述样本臂及参考臂中的光信号沿其长度在一系列离散位置处经由电光学控制方向耦合器分接，所述电光学控制方向耦合器在每一臂中由均匀长度波导部分分开，但其中所述均匀长度在所述样本臂及参考臂中是不同的，从而为每一MZI的所述臂提供不同路径长度差。来自所述样本臂及参考臂的分接光在低损耗光束组合器处重新组合，以产生作为所述臂中的时间延迟差的函数的光功率分配。