一种半导体缺陷检测多工位转移系统

    公开(公告)号:CN119706250A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202411811393.4

    申请日:2024-12-10

    Abstract: 本发明涉及晶圆检测技术领域,具体涉及一种半导体缺陷检测多工位转移系统,本发明通过设置了晶圆上料区、等待区、检测区和下料区四个功能区域,并配备传送装置与抓取组件,优势显著;其一,上料区的第一传送装置可自动送待检晶圆盒至等待区,无需人工干预,节省时间,提高生产效率;其二,检测区抓取组件能高效在等待区与检测区转移晶圆,减少等待时间,提升检测设备利用率;其三,下料区的第二传送装置及时移走已检晶圆盒,优化工艺流程。各功能区的划分让晶圆转移有序,使整个流程顺畅。总之,该系统在提高生产效率、优化工艺流程等方面效果显著。

    一种流场检测方法、装置、设备及介质

    公开(公告)号:CN119227556B

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411780702.6

    申请日:2024-12-05

    Abstract: 本发明涉及流场分析领域,本发明公开了一种流场检测方法、装置、设备及介质,包括从大气湍流模拟装置获取实验原始数据;根据实验原始数据建立数学仿真模型,并从数学仿真模型中得到仿真数据;对仿真数据和实验原始数据进行数据验证,得到训练数据;建立深度学习模型;根据训练数据对深度学习模型进行训练,得到优化深度学习模型;通过优化深度学习模型对大气湍流模拟装置的内部流场进行反演计算,得到反演数据;得益于深度学习模型的快速反演能力,显著缩短了数学仿真模型的计算周期,提升了仿真效率,使得实验人员可以基于反演数据对大气湍流模拟装置进行实时调控,实时响应实验需求,提升实验的准确性和效率。

    一种流场检测方法、装置、设备及介质

    公开(公告)号:CN119227556A

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202411780702.6

    申请日:2024-12-05

    Abstract: 本发明涉及流场分析领域,本发明公开了一种流场检测方法、装置、设备及介质,包括从大气湍流模拟装置获取实验原始数据;根据实验原始数据建立数学仿真模型,并从数学仿真模型中得到仿真数据;对仿真数据和实验原始数据进行数据验证,得到训练数据;建立深度学习模型;根据训练数据对深度学习模型进行训练,得到优化深度学习模型;通过优化深度学习模型对大气湍流模拟装置的内部流场进行反演计算,得到反演数据;得益于深度学习模型的快速反演能力,显著缩短了数学仿真模型的计算周期,提升了仿真效率,使得实验人员可以基于反演数据对大气湍流模拟装置进行实时调控,实时响应实验需求,提升实验的准确性和效率。

    光学元件轻量化设计方法、装置及设备

    公开(公告)号:CN118050893B

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410451743.4

    申请日:2024-04-16

    Abstract: 本发明适用于光学元件领域,公开了光学元件轻量化设计方法、装置及设备,该方法用于提高设计效率,节省人力;该方法包括:根据光学元件的面积确定支撑背板的面积和预开孔的面积;基于有限元分析确定支撑背板的轻量化孔与支撑背板的最佳面积比,并计算轻量化孔的最佳面积;根据光学元件的尺寸确定支撑背板的接口的位置,并根据接口的位置确定主加强筋;判断主加强筋的长度是否超过预设长度,若是,则在主加强筋与预开孔的孔壁之间添加第一副加强筋;在接口处布置放射状的第二副加强筋;计算当前支撑背板的多个轻量化孔的面积和接口的通槽面积之和,并计算得到的值与轻量化孔的最佳面积的差值,并根据差值进行调整。

    光学元件轻量化设计方法、装置及设备

    公开(公告)号:CN118050893A

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202410451743.4

    申请日:2024-04-16

    Abstract: 本发明适用于光学元件领域,公开了光学元件轻量化设计方法、装置及设备,该方法用于提高设计效率,节省人力;该方法包括:根据光学元件的面积确定支撑背板的面积和预开孔的面积;基于有限元分析确定支撑背板的轻量化孔与支撑背板的最佳面积比,并计算轻量化孔的最佳面积;根据光学元件的尺寸确定支撑背板的接口的位置,并根据接口的位置确定主加强筋;判断主加强筋的长度是否超过预设长度,若是,则在主加强筋与预开孔的孔壁之间添加第一副加强筋;在接口处布置放射状的第二副加强筋;计算当前支撑背板的多个轻量化孔的面积和接口的通槽面积之和,并计算得到的值与轻量化孔的最佳面积的差值,并根据差值进行调整。

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