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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115955090A
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202310232701.7
申请日：2023-03-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及磁控管的电源电路设计领域，具体公开了一种磁控管高压电源的控制电路，包括主功率模块和反馈调节模块，主功率模块设置有IGBT元件，反馈调节模块包括电流调节模块、电压调节模块和IGBT驱动模块，电流调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第一回路；电压调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第二回路；电流调节模块采集供电电流并输出电位；电压调节模块采集供电电压并输出电位；IGBT驱动模块根据电流调节模块或电压调节模块的输出电位变化控制IGBT元件的栅极脉冲频率；本发明的反馈调节过程不受通信协议影响，利用对IGBT元件栅极脉冲频率的补偿作用，实现电源稳压和稳流。
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公开(公告)号：CN116043196A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310157432.2
申请日：2023-02-23
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/517 , C23C16/52
Abstract: 本申请涉及微波源技术领域，具体提供了一种工作点可调的微波源、调节方法及MPCVD设备，该微波源包括：环形器；激励波导，与环形器的第一端口连接；三销钉波导，其输出端用于连接工作负载；磁控管，设置在激励波导上；三销钉调节器，设置在三销钉波导上；波状态检测器，其两端分别与三销钉波导的输入端和环形器的第二端口连接，用于获取三销钉波导的驻波信息和相位信息；可调负载，与环形器的第三端口连接，用于部分吸收反射微波；该微波源能够通过三销钉调节器调节磁控管的工作点。
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公开(公告)号：CN116043196B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202310157432.2
申请日：2023-02-23
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/517 , C23C16/52
Abstract: 本申请涉及微波源技术领域，具体提供了一种工作点可调的微波源、调节方法及MPCVD设备，该微波源包括：环形器；激励波导，与环形器的第一端口连接；三销钉波导，其输出端用于连接工作负载；磁控管，设置在激励波导上；三销钉调节器，设置在三销钉波导上；波状态检测器，其两端分别与三销钉波导的输入端和环形器的第二端口连接，用于获取三销钉波导的驻波信息和相位信息；可调负载，与环形器的第三端口连接，用于部分吸收反射微波；该微波源能够通过三销钉调节器调节磁控管的工作点。
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公开(公告)号：CN115955090B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202310232701.7
申请日：2023-03-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及磁控管的电源电路设计领域，具体公开了一种磁控管高压电源的控制电路，包括主功率模块和反馈调节模块，主功率模块设置有IGBT元件，反馈调节模块包括电流调节模块、电压调节模块和IGBT驱动模块，电流调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第一回路；电压调节模块、IGBT驱动模块和主功率模块构成第二回路；电流调节模块采集供电电流并输出电位；电压调节模块采集供电电压并输出电位；IGBT驱动模块根据电流调节模块或电压调节模块的输出电位变化控制IGBT元件的栅极脉冲频率；本发明的反馈调节过程不受通信协议影响，利用对IGBT元件栅极脉冲频率的补偿作用，实现电源稳压和稳流。
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公开(公告)号：CN116149228A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310174112.8
申请日：2023-02-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G05B19/042
Abstract: 本公开涉及一种微波系统的控制装置以及控制方法，微波系统的控制装置包括：控制电路；控制电路包括至少三个控制子单元；控制子单元包括选择模块、控制模块和连接引脚模块；选择模块与控制模块电连接；控制模块通过连接引脚模块与微波系统的对应引脚电连接；选择模块用于选择切换微波系统的控制模式；微波系统的控制模式包括交流模式、直流模式和磁控管模式；控制模块用于根据微波系统的控制模式监控微波系统。本公开可以通过控制电路对微波系统的微波电源和磁控管进行监控，选择不同的控制模式后即可实时监控微波系统对应的待控制部分，从而同时对整个微波系统进行监控，控制装置的通用性强，降低系统成本，适用于不同结构。
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