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公开(公告)号：CN115541558A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211537862.9
申请日：2022-12-02
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请涉及表面增强拉曼光谱技术领域，具体提供了一种SERS衬底制造方法及SERS衬底，该方法包括：准备SERS衬底基板，所述SERS衬底基板包括依次连接的刚性硬质衬底、正性光刻胶层和负性光刻胶层；对所述负性光刻胶层进行曝光和显影，以得到至少一个多聚体结构；将所述多聚体结构作为掩模，对所述正性光刻胶层进行刻蚀，以使所述多聚体结构与其下方的正性光刻胶层形成上宽下窄的三维悬空结构；基于低温沉积对所述三维悬空结构进行金属沉积，以得到包括三维悬空金属结构的SERS衬底；该方法能够有效地提高表面增强拉曼光谱检测的灵敏度。
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