公开(公告)号：CN117144299A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202311079530.5

申请日：2023-08-24

Applicant: 季华实验室

Inventor： 杨一新 ,  卞曙光 ,  蔡炜 ,  马宝真

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50 ,  C23C14/04 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种镀膜组件、蒸镀机及蒸镀方法，涉及显示技术领域。所述镀膜组件包括：机械叉，其用于移动基板，包括连接杆和多个平行设置的支撑杆，多个所述支撑杆用于支撑基板；掩膜板，其用于限定基板的蒸镀区域，其设有用于容纳支撑杆的支撑槽。本发明提供的镀膜组件，通过设置具有多个支撑杆的机械叉，多个支撑杆可从基板底部多个位置向上支撑基板，因此可避免基板弯曲变形，可使对位更为方便快捷且精准；通过设置具有支撑槽的掩膜板，该支撑槽可容纳支撑杆，因此可在对位时使基板更贴近掩膜板，便于对位。采用该镀膜组件的蒸镀机，具有更快的对位速度，大大的提高生产效率。

公开(公告)号：CN116695066A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310816957.2

申请日：2023-07-04

Applicant: 季华实验室

Inventor： 杨一新 ,  卞曙光

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/04

Abstract: 本公开涉及一种掩膜板、蒸镀方法以及蒸镀设备，掩膜板包括掩膜框架以及设置在掩膜框架上依次排列的多列掩膜片；通过掩膜板多列掩膜片的蒸镀图案，在基板上第一次蒸镀形成多列第一蒸镀图形；掩膜板与基板相对旋转180°后，通过掩膜板多列掩膜片的蒸镀图案，在各相邻列第一蒸镀图形之间，以及最后一列第一蒸镀图形远离其他列第一蒸镀图形一侧第二次蒸镀形成第二蒸镀图形；其中，相邻列掩膜片的蒸镀图案之间具有第一距离；第一距离大于等于蒸镀图案沿掩膜片排列方向的长度；第一距离小于掩膜片沿掩膜片排列方向的长度。本公开使基板上相邻蒸镀图案之间的距离减小，基板上蒸镀图案数量增加，进而提高了基板的利用率，还降低了掩膜板的制作成本。