公开(公告)号：CN100458466C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200510043987.6

申请日：2005-07-05

Applicant: 威海双丰物探设备股份有限公司

Inventor： 牛德芳 ,  颜永安 ,  于国良 ,  唐晓刚 ,  张乐巧 ,  张桂先 ,  赵冰 ,  孙中心 ,  星学奎

IPC: G01V1/18

Abstract: 本发明涉及一种MEMS加速度地震传感器，包括上电极、下电极和可移动的中间电极，上、下电极是以微机械加工技术形成的槽型电极，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁。本发明质量块为正六边形结构，通过其上均布设置的三条悬臂梁支撑在边框及上电极、下电极形成的槽中。保证了中间电极平动，本发明横向隔离性能效果好，线形好，抗冲击性强，温度漂移小，本发明结构简单，体积小，安装方便，工作可靠性高。特别适合于制作三分量传感器。

公开(公告)号：CN100458449C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200510043354.5

申请日：2005-04-15

Applicant: 威海双丰物探设备股份有限公司

Inventor： 颜永安 ,  于国良 ,  唐晓刚 ,  牛德芳 ,  赵冰 ,  孙中心 ,  星学奎 ,  张桂先 ,  张乐巧

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明涉及一种电容式MEMS加速度传感器，其是由中间电极、上下电极构成的三明治式差动电容结构，中间电极包括边框、质量块、悬臂梁，其特点是中间可动电极的质量块中央开一个孔洞，中间电极的边框上加工多个缝隙。这样，当质量块做上下位移时，腔室中的空气可通过中间电极的孔洞，并可从周边缝隙排出，可加强空气的流动，起到阻止质量块自由运动的作用。以减小阻尼，并起到降低噪音的作用。本发明结构简单，加工方便，可靠性高，可降低生产条件和成本，是一种理想的减小阻尼，降低噪音的电容式MEMS加速度传感器。