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公开(公告)号:CN103827527A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201280046551.0
申请日:2012-05-16
申请人: 奥依列斯工业株式会社
IPC分类号: F16C32/06
CPC分类号: F16C32/0614
摘要: 提供一种用于紧凑的空气轴承单元的结构,该紧凑空气轴承单元具有简单的构造,没有接触地且更稳定地支撑以高速转动的部件。流体(t)从多孔绕结层(102)供给到径向轴承间隙(60),以在径向轴承间隙(60)内形成流体膜,并且呈气体形式的流体(t)从径向轴承间隙(60)排出到推力轴承间隙(61a、61b),这些推力轴承间隙连接到径向轴承间隙(60)。流体膜利用排出气体(t1)形成在推力轴承间隙(61a、61b)内。由于从径向轴承间隙(60)排出的呈气体形式的流体(t)供给到推力轴承间隙(61a、61b),所以没有必要将空气轴承单元另外设有凹槽和推力轴承表面,其中凹槽从径向轴承间隙(60)排出呈气体形式的流体(t),推力轴承表面将流体(t)喷射到推力轴承间隙(61a、61b)。
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公开(公告)号:CN104204570A
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201380013111.X
申请日:2013-02-21
申请人: 奥依列斯工业株式会社
发明人: 上田智士
IPC分类号: F16C32/06
CPC分类号: F16C29/025 , F16C32/0618 , F16C33/043 , F16C33/128
摘要: 根据直接浮动装置的一个实施例的气体滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2),以及框架形状的滑动器(3),滑动器具有平面形状、并面对着要被支撑的目标(21)的空气静力支承表面(31A-31D)。在形成空气静力支承表面(31A-31D)的多孔层(32A-32D)的背侧,滑动器(3)具有供气通道(33A-33D),包括以沿着滑动轴(2)要被支撑的表面(21)的边缘的图案设置的供气槽。由此可以获得实现更高精度的线性引导的直接浮动装置。
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公开(公告)号:CN104583618A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201380041409.1
申请日:2013-06-21
申请人: 奥依列斯工业株式会社
IPC分类号: F16C32/06 , B05C5/02 , H01L21/027
CPC分类号: F16C32/0622 , H01L21/6715 , H01L21/67784
摘要: 本发明提供能提高厚度精度及平坦精度的空气轴承装置、及具备该空气轴承装置的涂布装置。所述空气轴承装置的特征在于,具备衬垫部,该衬垫部利用通过喷出气体所产生的上浮力而上浮,所述衬垫部具有:轴承面,设置有用于喷出气体的喷出口;以及气流控制机构,控制从所述喷出口喷出的气体的流动方向。
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公开(公告)号:CN104541077B
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201380041777.6
申请日:2013-07-22
申请人: 奥依列斯工业株式会社
发明人: 上田智士
IPC分类号: F16C32/06
CPC分类号: F16C32/0618 , F16C32/0622 , F16C32/0685 , F16C32/0696
摘要: 本申请提供了一种使用简单结构的、用于在不接触的情况下更稳定地支承旋转体的紧凑静态气体轴承单元,该旋转体以高速旋转。用于在不接触的情况下支承滑轮(2)的空气轴单元(1)的相对端(113、12)固定在两个轴保持器(3A、3B)上。气体(f)从空气轴单元(1)的径向轴承表面(1121)供给在径向轴承表面(1121)和滑轮(2)的内周表面(221)之间的径向轴承间隙(60),以便在径向轴承间隙(60)内形成气膜,且气体(f)从径向轴承间隙(60)排出至在空气轴单元(1)的推力轴承表面(1132、121)和滑轮(2)的凸台端表面(241A、241B)之间的推力轴承间隙(61a、61b),推力轴承间隙(61a、61b)与径向轴承间隙(60)连接。气膜也利用排出气体(f1)而形成于推力轴承间隙(61a、61b)内。
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公开(公告)号:CN104541077A
公开(公告)日:2015-04-22
申请号:CN201380041777.6
申请日:2013-07-22
申请人: 奥依列斯工业株式会社
发明人: 上田智士
IPC分类号: F16C32/06
CPC分类号: F16C32/0618 , F16C32/0622 , F16C32/0685 , F16C32/0696
摘要: 本申请提供了一种使用简单结构的、用于在不接触的情况下更稳定地支承旋转体的紧凑静态气体轴承单元,该旋转体以高速旋转。用于在不接触的情况下支承滑轮(2)的空气轴单元(1)的相对端(113、12)固定在两个轴保持器(3A、3B)上。气体(f)从空气轴单元(1)的径向轴承表面(1121)供给在径向轴承表面(1121)和滑轮(2)的内周表面(221)之间的径向轴承间隙(60),以便在径向轴承间隙(60)内形成气膜,且气体(f)从径向轴承间隙(60)排出至在空气轴单元(1)的推力轴承表面(1132、121)和滑轮(2)的凸台端表面(241A、241B)之间的推力轴承间隙(61a、61b),推力轴承间隙(61a、61b)与径向轴承间隙(60)连接。气膜也利用排出气体(f1)而形成于推力轴承间隙(61a、61b)内。
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公开(公告)号:CN103890419A
公开(公告)日:2014-06-25
申请号:CN201280052166.7
申请日:2012-10-15
申请人: 奥依列斯工业株式会社
CPC分类号: F16C13/02 , F16C32/0618
摘要: 这里提供了一种空气辊单元的结构,它防止轴损坏,并能够降低成本。空气辊单元(1)装备有:轴(21),该轴与辊主体(20)连接;轴环(3),该轴环附接在轴(21)上;空气轴承(4),该空气轴承(4)支承轴环(3),且并不与该轴环接触;以及旋转止动板(6),该旋转止动板(6)安装在轴环(3)上,且推力板(5)置于它们之间。轴环(3)的内径(r2)设置成大于轴(21)的外径(r1)。狭缝形成于各旋转止动板(6)中,该狭缝径向连接旋转止动板的内周表面(65)和外周表面(66);且埋头孔螺钉孔(68)从外周表面(66)形成为跨过该狭缝(67)。螺栓(83)插入埋头孔螺钉孔(68)中,且旋转止动板(6)能够通过拧紧或松开螺栓(83)而安装在轴(21)上或从该轴(21)上拆卸。
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公开(公告)号:CN103890419B
公开(公告)日:2016-11-30
申请号:CN201280052166.7
申请日:2012-10-15
申请人: 奥依列斯工业株式会社
摘要: 这里提供了一种空气辊单元的结构,它防止轴损坏,并能够降低成本。空气辊单元(1)装备有:轴(21),该轴与辊主体(20)连接;轴环(3),该轴环附接在轴(21)上;空气轴承(4),该空气轴承(4)支承轴环(3),且并不与该轴环接触;以及旋转止动板(6),该旋转止动板(6)安装在轴环(3)上,且推力板(5)置于它们之间。轴环(3)的内径(r2)设置成大于轴(21)的外径(r1)。狭缝形成于各旋转止动板(6)中,该狭缝径向连接旋转止动板的内周表面(65)和外周表面(66);且埋头孔螺钉孔(68)从外周表面(66)形成为跨过该狭缝(67)。螺栓(83)插入埋头孔螺钉孔(68)中,且旋转止动板(6)能够通过拧紧或松开螺栓(83)而安装在轴(21)上或从该轴(21)上拆卸。
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公开(公告)号:CN103827527B
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201280046551.0
申请日:2012-05-16
申请人: 奥依列斯工业株式会社
IPC分类号: F16C32/06
CPC分类号: F16C32/0614
摘要: 提供一种用于紧凑的空气轴承单元的结构,该紧凑空气轴承单元具有简单的构造,没有接触地且更稳定地支撑以高速转动的部件。流体(t)从多孔绕结层(102)供给到径向轴承间隙(60),以在径向轴承间隙(60)内形成流体膜,并且呈气体形式的流体(t)从径向轴承间隙(60)排出到推力轴承间隙(61a、61b),这些推力轴承间隙连接到径向轴承间隙(60)。流体膜利用排出气体(t1)形成在推力轴承间隙(61a、61b)内。由于从径向轴承间隙(60)排出的呈气体形式的流体(t)供给到推力轴承间隙(61a、61b),所以没有必要将空气轴承单元另外设有凹槽和推力轴承表面,其中凹槽从径向轴承间隙(60)排出呈气体形式的流体(t),推力轴承表面将流体(t)喷射到推力轴承间隙(61a、61b)。
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