层叠结构体、干膜、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN117120930A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202280025322.4

    申请日:2022-03-31

    Abstract: 提供:耐裂纹性优异、具有良好的图案化性、显影工序中能无残渣地进行去除的层叠结构体。一种层叠结构体,具有:层叠有由树脂组合物(a)形成的树脂层(A)与由树脂组合物(b)形成的树脂层(B)的2层的树脂层。树脂层(B)的树脂组合物(b)包含:碱溶性树脂;兼具光聚合引发剂的功能的光产碱剂、或光聚合引发剂和光产碱剂;以及热固性树脂,树脂层(A)的树脂组合物(a)包含:含羧基树脂和热固性树脂,实质上不含光聚合引发剂,树脂层(B)的树脂组合物(b)中所含的碱溶性树脂与前述热固性树脂的混合物的、150℃凝胶化时间为120秒以上且600秒以下。树脂层(A)的树脂组合物(a)中所含的含羧基树脂与热固性树脂的混合物的、150℃下的凝胶化时间为300秒以上且1200秒以下,且长于树脂层(B)的混合物的凝胶化时间。

    层叠结构体、干膜、固化物和电子部件

    公开(公告)号:CN117120929A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202280025323.9

    申请日:2022-03-31

    Abstract: 提供:不仅能以高水平兼顾B‑HAST耐性和耐裂纹性这样的相反的特性、而且具备优异的光图案化性的层叠结构体。一种层叠结构体,其特征在于,具有:层叠有由树脂组合物(a)形成的树脂层(A)与由树脂组合物(b)形成的树脂层(B)的2层的树脂层,前述树脂层(B)的树脂组合物(b)包含:碱溶性树脂;兼具光聚合引发剂的功能的光产碱剂、或光聚合引发剂和光产碱剂;以及热固性树脂,前述树脂层(A)的树脂组合物(a)包含:含羧基树脂和热固性树脂,实质上不含光聚合引发剂,分别测定将前述2层的树脂层隔着阶段式曝光表从前述树脂层(B)侧进行曝光后且进行PEB工序后形成的图案的涂膜厚、以及前述曝光后且进行前述PEB工序后显影而形成的图案的涂膜厚而求出的光泽灵敏度与残留灵敏度之差为20级以下。

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