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公开(公告)号：CN115404438B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202211164051.9
申请日：2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 天津亚盛工业技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该工艺采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流复合溅射技术沉积纳米多层复合涂层，沉积时本底真空6×10‑3Pa以上，沉积压强0.6～1.6Pa，通入Ar和N2；制备AlCrSiN调制层时，AlCrSi靶功率1.0～1.2kw，偏压为‑120～‑150V；制备AlCrMoSiN调制层时，同时开启AlCrSi靶和CrMo靶，AlCrSi靶功率1.0～1.2kW，CrMo靶功率0.3～0.4kW；本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性能力的纳米复合涂层。
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公开(公告)号：CN113684447B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202110911632.3
申请日：2021-08-10
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层交替叠加而成，涂层调制周期为65‑110nm，周期数≥8；所述Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层的调制比为1：1～9：1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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公开(公告)号：CN113684447A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110911632.3
申请日：2021-08-10
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层交替叠加而成，涂层调制周期为65‑110nm，周期数≥8；所述Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层的调制比为1：1～9：1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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公开(公告)号：CN115505886B
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202211170761.2
申请日：2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 恩盛德(天津)精密工具股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成，涂层调制周期为55～175nm，周期数≥10；所述AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层的调制比为1:1～9:1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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公开(公告)号：CN115404438A
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202211164051.9
申请日：2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 天津亚盛工业技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该工艺采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流复合溅射技术沉积纳米多层复合涂层，沉积时本底真空6×10‑3Pa以上，沉积压强0.6～1.6Pa，通入Ar和N2；制备AlCrSiN调制层时，AlCrSi靶功率1.0～1.2kw，偏压为‑120～‑150V；制备AlCrMoSiN调制层时，同时开启AlCrSi靶和CrMo靶，AlCrSi靶功率1.0～1.2kW，CrMo靶功率0.3～0.4kW；本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性能力的纳米复合涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118621263A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410126340.2
申请日：2024-01-30
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度、高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该梯度涂层是通过线性调节靶功率从而控制Mo含量呈梯度变化的，梯度涂层的靶功率调节范围为：下限为0.4kW、上限为0.7～1.2kW(线性)。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过调控Mo含量线性增加，制备出兼具高硬度、高耐磨性的梯度涂层。
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公开(公告)号：CN118007055A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410124293.8
申请日：2024-01-30
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种Mo含量呈梯度变化的高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该梯度涂层是通过线性调节靶功率从而控制Mo含量呈梯度变化的，梯度涂层的靶功率调节范围为：下限为0.4kW、上限为0.7～1.2kW(线性)。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过调控Mo含量线性增加，制备出兼具高硬度、高耐磨性的梯度涂层。
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公开(公告)号：CN113667939B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202110911776.9
申请日：2021-08-10
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度与高温抗氧化性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该工艺是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积纳米多层复合涂层，沉积纳米多层复合涂层时：本底真空为5×10‑3Pa，沉积压强0.5～0.8Pa；制备Zr‑B‑N调制层时，Zr靶功率0.4～2.0kw，ZrB2靶功率0.4～1.6kw，偏压为150V，通入Ar以及N2/H2混合气体；制备ZrO2调制层时，开启Zr靶，Zr靶功率0.4～2.0kw，通入Ar和O2；本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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公开(公告)号：CN115505886A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211170761.2
申请日：2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 恩盛德(天津)精密工具股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成，涂层调制周期为55～175nm，周期数≥10；所述AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层的调制比为1:1～9:1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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公开(公告)号：CN113667939A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110911776.9
申请日：2021-08-10
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度与高温抗氧化性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该工艺是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积纳米多层复合涂层，沉积纳米多层复合涂层时：本底真空为5×10‑3Pa，沉积压强0.5～0.8Pa；制备Zr‑B‑N调制层时，Zr靶功率0.4～2.0kw，ZrB2靶功率0.4～1.6kw，偏压为150V，通入Ar以及N2/H2混合气体；制备ZrO2调制层时，开启Zr靶，Zr靶功率0.4～2.0kw，通入Ar和O2；本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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