一种高集成的调整光路角度和位置的精密调整装置

    公开(公告)号:CN109143529A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201810999742.8

    申请日:2018-08-30

    CPC classification number: G02B7/182 G01B11/00

    Abstract: 本发明属于精密机械微小位移调整技术领域,提供了一种高集成的调整光路角度和位置的精密调整装置,包括两个移动滑台、调整架、两个45度反射镜、直角连接板、直角固定板和连接板。本发明的装置将光路的位置调整和角度调整集中在一个机构上,减小了调整机构的体积并且避免测量装置的位置误差,调整两个移动滑台可以调整光路水平和竖直两个方向的位置,微调调整架时可以分别改变光路水平和竖直两个方向的角度,所以该机构可以达到四个自由度的调整。集成的调整机构不仅可以减少调整机构的体积还可以避免测量装置的位置误差,从而大幅提高测量精度。

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