公开(公告)号：CN104772306A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510185904.0

申请日：2015-04-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 丁洪斌 ,  王勇 ,  李聪 ,  王志伟 ,  吴兴伟 ,  陈俊凌

IPC: B08B7/00

CPC classification number: B08B7/0035 ,  B08B11/00

Abstract: 本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的方法，包括以下步骤：预先设定工作气体以及测定标准灯的发射光谱；相继打开真空设备、水冷设备和进气设备，完成直流级联弧等离子体炬放电的准备工作；放电产生直流级联弧等离子体炬，并对第一镜样品进行清洗；改变相关清洗参数，对第一镜样品实施个性化清洗；清洗一定时间后原位检测第一镜样品反射率恢复情况，根据检测结果确定是否继续清洗；如果需要继续清洗，则重复清洗直至达到清洗要求。本发明采用的直流级联弧等离子体炬可调放电参数多、方向性好、无杂质，能实现大面积、长距离、均匀快速去除第一镜表面的杂质沉积层，并完成在线检测反射率。

公开(公告)号：CN104772305B

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：CN201510185627.3

申请日：2015-04-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 丁洪斌 ,  王勇 ,  李聪 ,  王志伟 ,  吴兴伟 ,  陈俊凌

IPC: B08B7/00

Abstract: 本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置，包括级联弧等离子体炬发生系统、冷却水供给系统、支撑系统和反射率检测系统，所述级联弧等离子体炬发生系统包括真空腔室、级联源、直流电源、真空单元、供气单元和冷却单元，所述级联源设置在真空腔室的一端，所述直流电源与级联源电连，所述供气单元与级联源通过管路连接，所述真空单元与真空腔室连接，所述冷却单元设置在级联源内。本发明直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置结构简单、合理、紧凑，该装置基于直流级联弧等离子体炬技术，能够在不引入杂质的前提下，实现对第一镜样品表面杂质沉积层的大面积均匀清洗，快速去除杂质沉积层。

公开(公告)号：CN104772305A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510185627.3

申请日：2015-04-20

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 丁洪斌 ,  王勇 ,  李聪 ,  王志伟 ,  吴兴伟 ,  陈俊凌

IPC: B08B7/00

CPC classification number: B08B7/0035

Abstract: 本发明提供一种直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置，包括级联弧等离子体炬发生系统、冷却水供给系统、支撑系统和反射率检测系统，所述级联弧等离子体炬发生系统包括真空腔室、级联源、直流电源、真空单元、供气单元和冷却单元，所述级联源设置在真空腔室的一端，所述直流电源与级联源电连，所述供气单元与级联源通过管路连接，所述真空单元与真空腔室连接，所述冷却单元设置在级联源内。本发明直流级联弧等离子体炬清洗托卡马克第一镜的装置结构简单、合理、紧凑，该装置基于直流级联弧等离子体炬技术，能够在不引入杂质的前提下，实现对第一镜样品表面杂质沉积层的大面积均匀清洗，快速去除杂质沉积层。