公开(公告)号：CN108388749A

公开(公告)日：2018-08-10

申请号：CN201810216573.6

申请日：2018-03-16

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张伟 ,  钟旭燕 ,  吴承伟

IPC: G06F17/50

Abstract: 一种具有微结构电介质层的电容压力传感器的微结构设计方法属于柔性压力传感器领域。本发明将可解决复杂非线性问题的Abaqus和大型多物理场完全耦合有限元分析仿真平台COMSOL Multiphysics相结合，模拟具有微结构的电容压力传感器在外压作用下的电容响应，模拟结果与实验结果基本吻合，与前人的模拟结果相比，精度大幅提高。通过改变电介质层微结构的弹性模量、底边长、角度、高度和大小等参数，设计微结构的形状、尺寸，得到各个参数对传感器线性度和灵敏度的影响规律，为传感器的微结构优化提供依据。本发明适用于棱柱状、圆柱状、棱锥状、圆锥状等微结构的电容式传感器的结构设计和性能优化，设计方法精确度高，方便快捷。

公开(公告)号：CN108388749B

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN201810216573.6

申请日：2018-03-16

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 张伟 ,  钟旭燕 ,  吴承伟

IPC: G06F30/36

Abstract: 一种具有微结构电介质层的电容压力传感器的微结构设计方法属于柔性压力传感器领域。本发明将可解决复杂非线性问题的Abaqus和大型多物理场完全耦合有限元分析仿真平台COMSOL Multiphysics相结合，模拟具有微结构的电容压力传感器在外压作用下的电容响应，模拟结果与实验结果基本吻合，与前人的模拟结果相比，精度大幅提高。通过改变电介质层微结构的弹性模量、底边长、角度、高度和大小等参数，设计微结构的形状、尺寸，得到各个参数对传感器线性度和灵敏度的影响规律，为传感器的微结构优化提供依据。本发明适用于棱柱状、圆柱状、棱锥状、圆锥状等微结构的电容式传感器的结构设计和性能优化，设计方法精确度高，方便快捷。