公开(公告)号：CN115962801A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211688331.X

申请日：2022-12-27

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 刘军山 ,  张弛 ,  朱一柯 ,  吴梦希

IPC: G01D21/02 ,  G03F7/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/20

Abstract: 本发明提供一种基于位置可调节纳米裂纹图案的超灵敏、高鲁棒性的多功能电子皮肤及制备方法，属于触觉传感领域。该多功能电子皮肤主要包括衬底、高灵敏度应变传感单元和温度传感单元。衬底为PI衬底，可以使电子皮肤有很高的环境鲁棒性。高灵敏度应变单元是基于不同金属之间延展性差异的位置可编程裂纹图形方法进行制造。其灵敏度可以通过改变纳米裂纹图案化进行调节。温度传感单元采用蛇形线设计以减少应变的影响的无裂纹金属薄膜。本发明所提出的多功能电子皮肤不仅具有高应变灵敏度和宽温度范围，而且具有良好的环境稳定性，因此，在未来的柔性多功能电子系统中具有很大的潜力。

公开(公告)号：CN115682912A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211423263.4

申请日：2022-11-15

Applicant: 大连理工大学

Inventor： 刘军山 ,  张弛 ,  朱一柯 ,  吴梦希

IPC: G01B7/16

Abstract: 一种集成纳米裂纹传感单元的超灵敏柔性电子触须的制造方法，属于触觉传感领域。该方法首先，制作集成纳米裂纹应变传感单元的梁。其次，制作带有固定电极的基板。最后将纳米裂纹应变传感单元与带有固定电极的基板完成键合。本发明制造的柔性电子触须将具有超高灵敏度和柔性的纳米裂纹应变传感单元集成在电子触须传感器悬臂梁的固定端附近，不仅能够保持柔性电子触须传感器的柔性，还可以大大提高其灵敏度。