一种适用于非接触抛光的抛光液精准供给系统

    公开(公告)号:CN116766024A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310650159.7

    申请日:2023-06-02

    Abstract: 本发明公开了一种适用于非接触抛光的抛光液精准供给系统,包括主控制器、抛光液循环泵、流量计、集液槽、回流管路、供液桶、冷凝管、粘度计、水槽、电磁阀和热电偶。抛光前,在主控制器上设定抛光液的供给流量、粘度和温度等参数;待抛光液供给流量稳定后,启动抛光主轴,对工件进行非接触抛光。当抛光液温度超过提前预设的温度时,冷却水泵自动开启,向冷凝管内通入冷却水,降低抛光液温度。当抛光液粘度超过提前预设的粘度时,电磁阀自动开启,将水槽内的去离子水按照一定的速度注入供液桶内,调节抛光液的粘度。抛光过程中,抛光液的流量、粘度和温度始终处于一个相对稳定的状态,具有较好的剪切增稠效应,最终实现工件的高效、高质量抛光。

    一种多场复合非接触抛光装置与方法

    公开(公告)号:CN116690392A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310650158.2

    申请日:2023-06-02

    Abstract: 本发明公开了一种多场复合非接触抛光装置与方法,可通过温度场、电场、磁场、化学场、机械场多场复合下实现工件高效率和高质量的抛光,温度控制系统可以实现非接触抛光液温度的恒定控制,保证抛光进程中抛光液始终在恒定的温度场中保持良好的剪切增稠效应。交变电源在介电介质中极化的磨粒受到介电泳力产生运动,防止在抛光进程中大部分磨粒的沉降,提高抛光去除率。在抛光工具和工件之间施加一个磁场,促使抛光液中磁性磨粒吸附于工件被加工表面,使磨粒能更多地进入到工件复杂表面的角落中,并增大抛光时磨粒对工件表面的压力,提高抛光效率。抛光液中的氧化剂通过磨粒的机械作用去除表面氧化层,这样周而复始最终可达到高质量的表面。

    一种石英半球谐振子的双面抛光方法

    公开(公告)号:CN115972073A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202310027437.3

    申请日:2023-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种石英半球谐振子的双面抛光方法,包括以下步骤:制备出具有剪切增稠效应的非牛顿流体抛光液;将半球谐振子通过夹具安装到机床转台上;通过传感器测量出当前半球谐振子的位置;设计并制作内表面抛光器和外表面抛光器;对半球谐振子的外表面和内表面同时进行抛光。本发明采用设计的抛光器,增大了抛光的接触面积,提高了整体加工的效率;通过抛光器的设计,同时加工半球谐振子的内外表面,不仅使半球谐振子受力平衡,而且保证了内外表面的材料同时均匀去除,保证了半球谐振子壁厚的均匀性,提高了加工效率。本发明采用控制内外抛光器壁面与半球谐振子壁面的间隙来控制流体压力的大小,从而保证半球谐振子整体均匀加工。

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