公开(公告)号：CN102427653B

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201110278545.5

申请日：2011-09-19

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 俞哲 ,  张芝涛 ,  白敏冬 ,  田一平 ,  许少杰 ,  金忠林

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46

Abstract: 一种引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源，属于气体放电与应用技术领域。高压电极组件放置在两平行的接地电极组件之间构成双电离腔结构，任意一极安装大气压局域强电场诱发器件针阵列电极，与相对应的平板电极之间构成多针-板放电电极结构，平板电极表面均匀覆盖α-Al2O3电介质层，其中与放电电极接触的一面镀涂金属Ag或Au，在放电间隙距离为0.25～0.64mm，工作气压90～110kPa，冷却水温度5～10℃，激励电压5～10kV，激励频率5～50kHz的条件下。本发明的等离子体源能够以微辉光和微流注两种放电模式交替工作，微辉光放电有效增强放电电场强度，为等离子体化学反应提供更加丰富的活性粒子。

公开(公告)号：CN102427653A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201110278545.5

申请日：2011-09-19

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 俞哲 ,  张芝涛 ,  白敏冬 ,  田一平 ,  许少杰 ,  金忠林

IPC: H05H1/24 ,  H05H1/46

Abstract: 一种引入微辉光放电模式的大气压非平衡等离子体源，属于气体放电与应用技术领域。高压电极组件放置在两平行的接地电极组件之间构成双电离腔结构，任意一极安装大气压局域强电场诱发器件针阵列电极，与相对应的平板电极之间构成多针-板放电电极结构，平板电极表面均匀覆盖α-Al2O3电介质层，其中与放电电极接触的一面镀涂金属Ag或Au，在放电间隙距离为0.25～0.64mm，工作气压90～110kPa，冷却水温度5～10℃，激励电压5～10kV，激励频率5～50kHz的条件下。本发明的等离子体源能够以微辉光和微流注两种放电模式交替工作，微辉光放电有效增强放电电场强度，为等离子体化学反应提供更加丰富的活性粒子。