公开(公告)号：CN117596760A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202311785177.2

申请日：2023-12-22

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 张小芳 ,  俞哲 ,  刘开颖 ,  周润朴 ,  李嘉炜 ,  张佳欣

IPC: H05H1/00 ,  H05H1/34 ,  B08B7/00 ,  G01R27/02 ,  G01N27/06

Abstract: 本发明公开了一种测等离子体电导率与实现等离子体清洗的装置及方法，其包括激励电源组件、气体放电组件和探针诊断系统，所述激励电源组件为所述真空箱内的电极供电，所述气瓶与所述进气阀门相连，用于向所述真空箱内通入工艺气体，所述真空泵与所述排气阀门相连接，用于抽取所述真空箱内的气体，为测量等离子体电导率和实现等离子体清洗提供合适的气压环境，所述探针诊断系统与所述双探针连接，用于测量记录流经等离子体的电流和电导率，所述真空箱的顶部可开启，可放入待清洗物品，本发明与传统测量等离子体电导率的方法相比，测量误差小，测量效率高，且能够利用产生的等离子体实现对待清洗物体的清洗。

公开(公告)号：CN221531737U

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202323534617.5

申请日：2023-12-22

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 周润朴 ,  李嘉炜 ,  张佳欣 ,  张小芳 ,  俞哲 ,  刘开颖

IPC: H05H1/00 ,  H05H1/34 ,  B08B7/00 ,  G01R27/02 ,  G01N27/06

Abstract: 本实用新型公开了一种测等离子体电导率与实现等离子体清洗的装置，其包括激励电源组件、气体放电组件和探针诊断系统，所述激励电源组件为所述真空箱内的电极供电，所述气瓶与所述进气阀门相连，用于向所述真空箱内通入工艺气体，所述真空泵与所述排气阀门相连接，用于抽取所述真空箱内的气体，为测量等离子体电导率和实现等离子体清洗提供合适的气压环境，所述探针诊断系统与所述双探针连接，用于测量记录流经等离子体的电流和电导率，所述真空箱的顶部可开启，可放入待清洗物品，本实用新型与传统测量等离子体电导率的方法相比，测量误差小，测量效率高，且能够利用产生的等离子体实现对待清洗物体的清洗。