公开(公告)号：CN101566501A

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200910011583.7

申请日：2009-05-14

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 张芝涛 ,  赵建森 ,  俞哲 ,  殷燕 ,  张钰博

IPC: G01J3/28 ,  G01R19/00 ,  G01J3/02

Abstract: 一种光纤光谱协同放电电流测量等离子体电子密度的方法，属于放电等离子体诊断技术领域。本发明的技术特征是同时使用微型光纤光谱测量通路和放电电流测量电路获得放电等离子体的光辐射谱和放电电流实时参量，再通过计算机数据处理系统将这些参量进行综合分析后计算出等离子体的电子密度。微型光纤光谱测量通路由光纤探头、传导光纤、微型光纤光谱仪依次连接组成，放电电流测量电路由电流传感器、电流信号放大器、数据采集器依次连接组成，计算机数据处理系统将由此获得的数据依据气体分子运动理论计算出放电等离子体的电子密度。本发明的效果和益处是将光学发射光谱法诊断放电等离子体电子密度的适用范围由局域热平衡态扩展到了非平衡态。

公开(公告)号：CN101566501B

公开(公告)日：2011-01-26

申请号：CN200910011583.7

申请日：2009-05-14

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 张芝涛 ,  赵建森 ,  俞哲 ,  殷燕 ,  张钰博

IPC: G01J3/28 ,  G01R19/00 ,  G01J3/02

Abstract: 一种光纤光谱协同放电电流测量等离子体电子密度的方法，属于放电等离子体诊断技术领域。本发明的技术特征是同时使用微型光纤光谱测量通路和放电电流测量电路获得放电等离子体的光辐射谱和放电电流实时参量，再通过计算机数据处理系统将这些参量进行综合分析后计算出等离子体的电子密度。微型光纤光谱测量通路由光纤探头、传导光纤、微型光纤光谱仪依次连接组成，放电电流测量电路由电流传感器、电流信号放大器、数据采集器依次连接组成，计算机数据处理系统将由此获得的数据依据气体分子运动理论计算出放电等离子体的电子密度。本发明的效果和益处是将光学发射光谱法诊断放电等离子体电子密度的适用范围由局域热平衡态扩展到了非平衡态。