公开(公告)号：CN100419435C

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200480012573.0

申请日：2004-05-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社 ,  JSR株式会社

Inventor： 小八木康幸 ,  下妻央子 ,  田边隆喜 ,  八代隆郎

IPC: G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/07378

Abstract: 一种光制造装置(1)，包括：平台(2)，用于在其上固定基板(9)；送料部件(3)，用于将光敏材料送到基板(9)上；层形成部件(4)，用于均匀地涂布光敏材料以形成材料层；以及光发射部件(5)，用于将空间调制的光束发射到材料层上。光制造装置(1)通过重复材料的形成和发光，在基板9上以高的位置准确性并在很小的范围内形成大量的用于细探针的弹性显微结构并以极小的间隔排列这些显微结构。这些显微结构通过后面处理中的电镀而成为弹性探针。

公开(公告)号：CN1784606A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200480012573.0

申请日：2004-05-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社 ,  JSR株式会社

Inventor： 小八木康幸 ,  下妻央子 ,  田边隆喜 ,  八代隆郎

IPC: G01R1/073 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/06716 ,  G01R1/07378

Abstract: 一种光制造装置(1)，包括：平台(2)，用于在其上固定基板(9)；送料部件(3)，用于将光敏材料送到基板(9)上；层形成部件(4)，用于均匀地涂布光敏材料以形成材料层；以及光发射部件(5)，用于将空间调制的光束发射到材料层上。光制造装置(1)通过重复材料的形成和发光，在基板9上以高的位置准确性并在很小的范围内形成大量的用于细探针的弹性显微结构并以极小的间隔排列这些显微结构。这些显微结构通过后面处理中的电镀而成为弹性探针。