曝光装置以及激光控制部用电路板

    公开(公告)号:CN101289025B

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200810093344.6

    申请日:2008-04-18

    CPC classification number: H01S5/0683 H01S5/0617

    Abstract: 本发明提供一种即使不设置校准传感器,也能够将激光的光量调整到规定值的曝光装置。上述曝光装置具有激光控制部,该激光控制部由能够独立交换的电路板构成,并接收来自全面控制整个装置的动作的主控制部的控制,控制从发出激光的激光发光部发出的激光,其中,用于调整因电路板的电路误差而引起的控制因素的偏差的误差调整信息存储在激光控制部所具有的存储器中,该误差调整信息是指,针对电路板在搭载到曝光装置之前预先取得的信息。激光控制部在从主控制部接到到使以规定的光量发出激光的控制指示时,基于存储在存储器中的误差调整信息,决定激光的发光条件,并按照发光条件使激光发光部发出激光。

    曝光装置以及激光控制部用电路板

    公开(公告)号:CN101289025A

    公开(公告)日:2008-10-22

    申请号:CN200810093344.6

    申请日:2008-04-18

    CPC classification number: H01S5/0683 H01S5/0617

    Abstract: 本发明提供一种即使不设置校准传感器,也能够将激光的光量调整到规定值的曝光装置。上述曝光装置具有激光控制部,该激光控制部由能够独立交换的电路板构成,并接收来自全面控制整个装置的动作的主控制部的控制,控制从发出激光的激光发光部发出的激光,其中,用于调整因电路板的电路误差而引起的控制因素的偏差的误差调整信息存储在激光控制部所具有的存储器中,该误差调整信息是指,针对电路板在搭载到曝光装置之前预先取得的信息。激光控制部在从主控制部接到使以规定的光量发出激光的控制指示时,基于存储在存储器中的误差调整信息,决定激光的发光条件,并按照发光条件使激光发光部发出激光。

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