公开(公告)号：CN100534644C

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200610105801.X

申请日：2006-07-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 岩见优树 ,  佐藤雅伸

IPC: B08B1/00 ,  B08B11/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B1/04 ,  H01L21/67046

Abstract: 本发明涉及基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置以及基板处理方法，该基板清洗刷包括端面清洗部和与该端面清洗部相结合的周边清洗部。端面清洗部具有被按压接触于基板的端面的端面清洗面。周边清洗部具有被按压接触于基板的主面的周边部的周边清洗面，该周边清洗面从端面清洗面的伸出长度可变。

公开(公告)号：CN1891355A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200610105801.X

申请日：2006-07-07

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 岩见优树 ,  佐藤雅伸

IPC: B08B1/00 ,  B08B11/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B1/04 ,  H01L21/67046

Abstract: 本发明涉及基板清洗刷、和使用该刷的基板处理装置以及基板处理方法，该基板清洗刷包括端面清洗部和与该端面清洗部相结合的周边清洗部。端面清洗部具有被按压接触于基板的端面的端面清洗面。周边清洗部具有被按压接触于基板的主面的周边部的周边清洗面，该周边清洗面从端面清洗面的伸出长度可变。