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公开(公告)号：CN100454147C
公开(公告)日：2009-01-21
申请号：CN200610081709.4
申请日：2006-05-10
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70291 , G02B26/0833 , G03F7/70508 , G03F7/70558
Abstract: 本发明提供绘图设备和块数确定方法。该绘图设备包括DMD，用于空间调制从光源发出的光并将调制后的光束分别引导至二维排列在衬底上的多个照射区域。在扫描多个照射区域的同时，通过控制DMD来绘图。多个照射区域构成在列方向上排列的多个照射块，在每个照射块中，照射区域在行方向上排列。在DMD中，绘制信号顺序地输入到分别与多个照射块对应的多个镜块里待使用的镜块中。当绘图时，运算部件考虑向DMD输入绘制信号所需的时间和照射到衬底上的光量，确定能使扫描速度最大化的待使用镜块数。
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公开(公告)号：CN100594432C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200710154755.7
申请日：2007-09-13
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种图案描画装置及图案描画方法。对导入来自DMD的微反射镜组的光的感光材料上的照射区域组进行主扫描，对感光材料上的条纹区域照射光，重复主扫描并对在副扫描方向上局部重叠的多个条纹区域依次照射光，从而在感光材料上描画图案。此时，先行照射区域组和后续照射区域组重叠通过感光材料上的重叠区域时，使微反射镜组中对应于重叠区域的一部分微反射镜无效，使得先行照射区域组和后续照射区域组通过重叠区域的各位置的累计时间比先行照射区域组或后续照射区域组通过非重叠区域的各位置的时间短，从而使重叠区域的感光和非重叠区域的感光程度相同。
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公开(公告)号：CN101174103A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710154755.7
申请日：2007-09-13
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G03F7/70791 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种图案描画装置及图案描画方法。对导入来自DMD的微反射镜组的光的感光材料上的照射区域组进行主扫描，对感光材料上的条纹区域照射光，重复主扫描并对在副扫描方向上局部重叠的多个条纹区域依次照射光，从而在感光材料上描画图案。此时，先行照射区域组和后续照射区域组重叠通过感光材料上的重叠区域时，使微反射镜组中对应于重叠区域的一部分微反射镜无效，使得先行照射区域组和后续照射区域组通过重叠区域的各位置的累计时间比先行照射区域组或后续照射区域组通过非重叠区域的各位置的时间短，从而使重叠区域的感光和非重叠区域的感光程度相同。
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公开(公告)号：CN1873540A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610081709.4
申请日：2006-05-10
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70291 , G02B26/0833 , G03F7/70508 , G03F7/70558
Abstract: 本发明提供绘图设备和块数确定方法。该绘图设备包括DMD，用于空间调制从光源发出的光并将调制后的光束分别引导至二维排列在衬底上的多个照射区域。在扫描多个照射区域的同时，通过控制DMD来绘图。多个照射区域构成在列方向上排列的多个照射块，在每个照射块中，照射区域在行方向上排列。在DMD中，绘制信号顺序地输入到分别与多个照射块对应的多个镜块里待使用的镜块中。当绘图时，运算部件考虑向DMD输入绘制信号所需的时间和照射到衬底上的光量，确定能使扫描速度最大化的待使用镜块数。
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