悬架用基板、悬架、带磁头的悬架和硬盘驱动器、以及悬架用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN103180901B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201180051804.9

    申请日:2011-11-02

    CPC classification number: G11B21/16 G11B5/486 Y10T428/1171

    Abstract: 本发明的课题是,使层叠的布线层之间的绝缘层的表面的平坦性提高、使布线层中的阻抗稳定。悬架用基板(1)具有:金属基板(20)、设于金属基板(20)上的第1绝缘层(22)、设于第1绝缘层(22)上的第1布线层(10)、设于第1绝缘层(22)及第1布线层(10)上的第2绝缘层(24)、和设于第2绝缘层(24)上的第2布线层(12)。第2布线层(12)由保护层(26)覆盖。在将第1布线层(10)的厚度和第1布线层(10)上的第2绝缘层(24)的厚度的合计设为T1、将在距第1布线层(10)预定距离、第2绝缘层(24)的表面成为平坦的位置的第2绝缘层(24)的厚度设为T2时,满足T1-T2<4.5μm。

    悬架用基板、悬架、带磁头的悬架和硬盘驱动器、以及悬架用基板的制造方法

    公开(公告)号:CN103180901A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201180051804.9

    申请日:2011-11-02

    CPC classification number: G11B21/16 G11B5/486 Y10T428/1171

    Abstract: 本发明的课题是,使层叠的布线层之间的绝缘层的表面的平坦性提高、使布线层中的阻抗稳定。悬架用基板(1)具有:金属基板(20)、设于金属基板(20)上的第1绝缘层(22)、设于第1绝缘层(22)上的第1布线层(10)、设于第1绝缘层(22)及第1布线层(10)上的第2绝缘层(24)、和设于第2绝缘层(24)上的第2布线层(12)。第2布线层(12)由保护层(26)覆盖。在将第1布线层(10)的厚度和第1布线层(10)上的第2绝缘层(24)的厚度的合计设为T1、将在距第1布线层(10)预定距离、第2绝缘层(24)的表面成为平坦的位置的第2绝缘层(24)的厚度设为T2时,满足T1-T2<4.5μm。

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