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公开(公告)号：CN1444727A
公开(公告)日：2003-09-24
申请号：CN01813501.3
申请日：2001-07-26
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/276 , G01N21/4785 , G01N2021/4745 , G01N2201/128
Abstract: 按照本发明的自动光学测量方法，利用把可动的反射板6移至光轴位置，光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，另一方面，利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上，光投射部分3a经过参照物8投射的光，被光接收部分3b接收，据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时，则把可动反射板6移至光轴位置，光投射部分3a投射的光，经过可动反射板6、不动反射板11、和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，于是，用由此接收的光强和上述比值，估算用参照物测量的光强，用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114325734B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202210019117.9
申请日：2017-01-23
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量试样厚度的厚度测量装置及厚度测量方法。厚度测量装置具有：第一透光构件，其具有第一参照面；第二透光构件，其与第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，其经由第一参照面向设置在第一透光构件和第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，其接收来自第一参照面的反射光，并且经由第一参照面接收来自试样的反射光；第二投光部，其经由第二参照面向试样照射来自光源的光；第二受光部，其接收来自第二参照面的反射光，并且经由第二参照面接收来自受光试样的反射光；分光部，其对由第一受光部接收的反射光和由第二受光部接收的反射光进行分光。
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公开(公告)号：CN107037437B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN201710058139.5
申请日：2017-01-23
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量试样厚度的厚度测量装置及厚度测量方法。厚度测量装置具有：第一透光构件，其具有第一参照面；第二透光构件，其与第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，其经由第一参照面向设置在第一透光构件和第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，其接收来自第一参照面的反射光，并且经由第一参照面接收来自试样的反射光；第二投光部，其经由第二参照面向试样照射来自光源的光；第二受光部，其接收来自第二参照面的反射光，并且经由第二参照面接收来自受光试样的反射光；分光部，其对由第一受光部接收的反射光和由第二受光部接收的反射光进行分光。
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公开(公告)号：CN1202414C
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN01813501.3
申请日：2001-07-26
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/276 , G01N21/4785 , G01N2021/4745 , G01N2201/128
Abstract: 按照本发明的自动光学测量方法，利用把可动的反射板6移至光轴位置，光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，另一方面，利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上，光投射部分3a经过参照物8投射的光，被光接收部分3b接收，据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时，则把可动反射板6移至光轴位置，光投射部分3a投射的光，经过可动反射板6、不动反射板11和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，于是，用由此接收的光强和上述比值，估算用参照物测量的光强，用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。
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公开(公告)号：CN114325734A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202210019117.9
申请日：2017-01-23
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量试样厚度的厚度测量装置及厚度测量方法。厚度测量装置具有：第一透光构件，其具有第一参照面；第二透光构件，其与第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，其经由第一参照面向设置在第一透光构件和第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，其接收来自第一参照面的反射光，并且经由第一参照面接收来自试样的反射光；第二投光部，其经由第二参照面向试样照射来自光源的光；第二受光部，其接收来自第二参照面的反射光，并且经由第二参照面接收来自受光试样的反射光；分光部，其对由第一受光部接收的反射光和由第二受光部接收的反射光进行分光。
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公开(公告)号：CN107037437A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201710058139.5
申请日：2017-01-23
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01S17/08 , G01S7/4815 , G01S7/4816
Abstract: 本发明提供一种能够准确地测量试样厚度的厚度测量装置及厚度测量方法。厚度测量装置具有：第一透光构件，其具有第一参照面；第二透光构件，其与第一透光构件相向设置，具有第二参照面；第一投光部，其经由第一参照面向设置在第一透光构件和第二透光构件之间的试样照射来自光源的光；第一受光部，其接收来自第一参照面的反射光，并且经由第一参照面接收来自试样的反射光；第二投光部，其经由第二参照面向试样照射来自光源的光；第二受光部，其接收来自第二参照面的反射光，并且经由第二参照面接收来自受光试样的反射光；分光部，其对由第一受光部接收的反射光和由第二受光部接收的反射光进行分光。
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