公开(公告)号：CN101135784A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200710147125.7

申请日：2007-08-30

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 中村贤司 ,  白岩久志

IPC: G02F1/13 ,  G02B5/23 ,  G01M11/00

CPC classification number: G02B21/086 ,  G01N21/25 ,  G02B5/201

Abstract: 本发明提供开口可变检查光学系统及彩色滤光片的评价方法。本发明的构成包括具有多边形的透射部分的可变开口单元(13)，在试样S的位置形成透射可变开口单元(13)的光的投光点的聚光光学系统(12a、12b)，上述可变开口单元(13)，可以使上述多边形的形状和大小改变。无须更换开口单元就可以改变投光点U的尺寸。

公开(公告)号：CN114008406A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201980097689.5

申请日：2019-06-27

Applicant: 大塚电子株式会社

Inventor： 佐佐木勇贵 ,  中村贤司 ,  水野航

IPC: G01B11/25

Abstract: 一种测量装置(100)，用于测量测量对象物的形状，该测量装置(100)具有：光源部(20)；受光部(30)；以及主体部(10)，包括：透光部(70)，射出线状光；投光光路(51)，其为从光源部(20)到透光部(70)的光路；以及受光光路(52)，其为从透光部(70)到受光部(30)的光路。