公开(公告)号：CN102398906B

公开(公告)日：2014-12-17

申请号：CN201110207003.9

申请日：2011-07-22

Applicant: 多氟多化工股份有限公司

Inventor： 李世江 ,  侯红军 ,  杨华春 ,  于贺华 ,  薛旭金 ,  陈宏伟 ,  刘海霞 ,  王建萍 ,  郑艳萍 ,  尚钟声

IPC: C01B33/107

Abstract: 本发明公开了一种利用磷肥工业副产物Na2SiF6热解生产SiF4的方法，该方法的步骤为：将Na2SiF6在真空干燥器内干燥，之后由导料槽进入定量加料器，在定量加料器内与NaF混合后送入高温反应釜或高温循环流化床，在600～750℃热解1～3小时，高温反应釜或高温循环流化床内压力控制为10～50mmH2O，热解产生NaF和SiF4气体；NaF返回定量加料器使用，SiF4气体进入冷凝器冷凝，再经除尘处理后经两级活性炭吸附柱净化，再经冷冻压缩后，导入钢瓶储存。本发明提供的生产方法生产成本低，生产过程中无任何废弃物产生，做到了真正的清洁生产，制得的四氟化硅气体产品的质量稳定，纯度均可达到99.9%。

公开(公告)号：CN102398906A

公开(公告)日：2012-04-04

申请号：CN201110207003.9

申请日：2011-07-22

Applicant: 多氟多化工股份有限公司

Inventor： 李世江 ,  侯红军 ,  杨华春 ,  于贺华 ,  薛旭金 ,  陈宏伟 ,  刘海霞 ,  王建萍 ,  郑艳萍 ,  尚钟声

IPC: C01B33/107

Abstract: 本发明公开了一种利用磷肥工业副产物Na2SiF6热解生产SiF4的方法，该方法的步骤为：将Na2SiF6在真空干燥器内干燥，之后由导料槽进入定量加料器，在定量加料器内与NaF混合后送入高温反应釜或高温循环流化床，在600～750℃热解1～3小时，高温反应釜或高温循环流化床内压力控制为10～50mmH2O，热解产生NaF和SiF4气体；NaF返回定量加料器使用，SiF4气体进入冷凝器冷凝，再经除尘处理后经两级活性炭吸附柱净化，再经冷冻压缩后，导入钢瓶储存。本发明提供的生产方法生产成本低，生产过程中无任何废弃物产生，做到了真正的清洁生产，制得的四氟化硅气体产品的质量稳定，纯度均可达到99.9%。