低温长工作距离复消色差物镜
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118584627A

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410752822.9

    申请日:2024-06-12

    IPC分类号: G02B13/00 G02B13/22

    摘要: 本发明涉及低温长工作距离复消色差物镜。一种物镜可包括:第一光学模块,包括从第一侧向第二侧依次布置的:第一凹透镜;第二弯月透镜,其凹面朝向所述第一凹透镜;以及第三弯月透镜,其凹面朝向所述第二弯月透镜;以及第二光学模块,设置在所述第一光学模块的第二侧,包括依次布置的:第四凸透镜;第五凹透镜;第六凸透镜;第七凸透镜;第八弯月透镜,其凸面朝向所述第七凸透镜;第九弯月透镜,其凹面朝向所述第八弯月透镜;第十凸透镜;以及第十一弯月透镜,其凸面朝向所述第十凸透镜。透镜之间的间距和无双胶合结构避免了热胀冷缩导致的透镜之间的相互作用力,从而该物镜能在低温和室温下工作,提高了物镜的可靠性和稳定性。

    桌面式低温自动探针台设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118393188A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410678258.0

    申请日:2024-05-29

    IPC分类号: G01R1/073 G01R31/28

    摘要: 本发明涉及一种桌面式低温自动探针台设备。根据一实施例,一种探针台设备包括:主腔体,具有底壁和围绕底壁的侧壁;罩盖,用于覆盖所述主腔体的上部开口,以限定测试腔体;以及压电运动模组,设置在所述测试腔体中,用于移动待测样品和探针以进行测试操作,其中,所述压电运动模组包括压电元件,所述压电元件在电压信号下发生形变,以移动待测样品和探针。