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公开(公告)号:CN103187333A
公开(公告)日:2013-07-03
申请号:CN201210570368.2
申请日:2012-12-25
CPC classification number: G01R1/0491 , G01R31/2891
Abstract: 控制移动台上要检查的芯片的电极焊盘的三个轴坐标位置和旋转位置,使得电极焊盘与多个探针的尖端位置对应。可以准确地定位探针卡的大量探针和其位置精度在切割之后不均匀的大量芯片的电极焊盘,从而极大增加了同时接触的芯片的个数,提高了测试效率。