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公开(公告)号:CN101428497A
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200810129707.7
申请日:2004-08-05
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
Abstract: 本发明提供一种静电吸引型流体排出装置和静电吸引型流体排出方法以及使用该装置的描绘图案形成方法。其中,静电吸引型流体排出装置从电源往喷嘴与绝缘衬底之间施加驱动电压,对供给喷嘴内的排出材料供给电荷,并使该排出材料从喷孔排出到绝缘衬底。喷嘴孔径为φ0.01μm~φ25μm,并且电源输出频率为大于等于1Hz的正负两个极性翻转的双极性脉冲电压,作为驱动电压。
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公开(公告)号:CN101428497B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200810129707.7
申请日:2004-08-05
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
Abstract: 本发明提供一种静电吸引型流体排出装置和静电吸引型流体排出方法以及使用该装置的描绘图案形成方法。其中,静电吸引型流体排出装置从电源往喷嘴与绝缘衬底之间施加驱动电压,对供给喷嘴内的排出材料供给电荷,并使该排出材料从喷孔排出到绝缘衬底。喷嘴孔径为φ0.01μm~φ25μm,并且电源输出频率为大于等于1Hz的正负两个极性翻转的双极性脉冲电压,作为驱动电压。
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公开(公告)号:CN1930000A
公开(公告)日:2007-03-14
申请号:CN200480038878.9
申请日:2004-11-29
Applicant: 柯尼卡美能达控股株式会社 , 夏普株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B41J2/06
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/06 , B41J2/14233
Abstract: 具备:液体喷射头(26),具有对基体材料喷射带了电的溶液的液滴的内部直径小于等于15〔μm〕的喷嘴(21);喷射电压施加单元(25),对喷嘴内的溶液施加喷射电压;凸状弯液面形成单元(40),形成喷嘴内的溶液从该喷嘴隆起为凸状的状态;以及工作控制单元(50),控制驱动凸状弯液面形成单元的驱动电压的施加和喷射电压施加单元的喷射电压的施加,同时在与作为喷射电压施加单元的喷射电压的脉冲电压的施加重叠的时刻施加凸状弯液面形成单元的驱动电压。
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公开(公告)号:CN100464872C
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200480022260.3
申请日:2004-08-05
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B05C5/00
Abstract: 静电吸引型流体排出装置从电源往喷嘴与绝缘衬底之间施加驱动电压,对供给喷嘴内的排出材料供给电荷,并使该排出材料从喷孔排出到绝缘衬底。喷嘴孔径为φ0.01μm~φ25μm,并且电源输出频率为大于等于1Hz的正负两个极性翻转的双极性脉冲电压,作为驱动电压。
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公开(公告)号:CN1832810A
公开(公告)日:2006-09-13
申请号:CN200480022260.3
申请日:2004-08-05
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B05C5/00
Abstract: 静电吸引型流体排出装置从电源往喷嘴与绝缘衬底之间施加驱动电压,对供给喷嘴内的排出材料供给电荷,并使该排出材料从喷孔排出到绝缘衬底。喷嘴孔径为φ0.01μm~φ25μm,并且电源输出频率为大于等于1Hz的正负两个极性翻转的双极性脉冲电压,作为驱动电压。
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公开(公告)号:CN1930000B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200480038878.9
申请日:2004-11-29
Applicant: 柯尼卡美能达控股株式会社 , 夏普株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B41J2/06
CPC classification number: B41J2/04581 , B41J2/04588 , B41J2/06 , B41J2/14233
Abstract: 具备:液体喷射头(26),具有对基体材料喷射带了电的溶液的液滴的内部直径小于等于15〔μm〕的喷嘴(21);喷射电压施加单元(25),对喷嘴内的溶液施加喷射电压;凸状弯液面形成单元(40),形成喷嘴内的溶液从该喷嘴隆起为凸状的状态;以及工作控制单元(50),控制驱动凸状弯液面形成单元的驱动电压的施加和喷射电压施加单元的喷射电压的施加,同时在与作为喷射电压施加单元的喷射电压的脉冲电压的施加重叠的时刻施加凸状弯液面形成单元的驱动电压。
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公开(公告)号:CN1832858B
公开(公告)日:2010-04-14
申请号:CN200480022495.2
申请日:2004-08-04
Applicant: 夏普株式会社
IPC: B41J2/06
CPC classification number: B41J2/06
Abstract: 将流体排出头的喷嘴孔直径做成0.01μm~25μm的微细孔径时,由于喷嘴微细化,排出的驱动电压能降低。通过在喷嘴部的外壁面形成对排出流体施加驱动电压用的电极部,缩短电极部与喷孔的距离。由此,静电吸引型流体排出装置中,兼顾喷嘴微细化和驱动电压低电压化,同时还可提高排出极限频率,并改善对排出材料的高电阻侧的选择性。
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公开(公告)号:CN100429005C
公开(公告)日:2008-10-29
申请号:CN200480026239.0
申请日:2004-08-06
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B05C5/00
Abstract: 喷嘴的喷出孔直径为0.01~25μm,并由电压施加单元在喷嘴与衬底之间施加设定成大于等于作为启动流体排出的电压条件的最低可排出电压(30)的上限电压(10)的脉冲电压。在脉冲电压上升沿前,设定极性与上限电压(10)相同且绝对值小于最低可排出电压(30)的第1下限电压(20a),而且紧接在脉冲电压上升沿后,设定极性与上限电压(10)相反的第2下限电压(20b)。由此,能提供一种静电吸引型流体排出方法和装置,谋求喷嘴微细化、微小流体排出、击中位置高精度化和驱动电压的低电压化,同时还提高排出起止特性,提高驱动频率,并能进行排出量的脉冲时间控制。
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公开(公告)号:CN1849178A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200480026239.0
申请日:2004-08-06
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B05C5/00
Abstract: 喷嘴的喷出孔直径为0.01~25μm,并由电压施加单元在喷嘴与衬底之间施加设定成大于等于作为启动流体排出的电压条件的最低可排出电压(30)的上限电压(10)的脉冲电压。在脉冲电压上升沿前,设定极性与上限电压(10)相同且绝对值小于最低可排出电压(30)的第1下限电压(20a),而且紧接在脉冲电压上升沿后,设定极性与上限电压(10)相反的第2下限电压(20b)。由此,能提供一种静电吸引型流体排出方法和装置,谋求喷嘴微细化、微小流体排出、击中位置高精度化和驱动电压的低电压化,同时还提高排出起止特性,提高驱动频率,并能进行排出量的脉冲时间控制。
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公开(公告)号:CN1832858A
公开(公告)日:2006-09-13
申请号:CN200480022495.2
申请日:2004-08-04
Applicant: 夏普株式会社 , 柯尼卡美能达控股株式会社 , 独立行政法人产业技术总合研究所
IPC: B41J2/06
CPC classification number: B41J2/06
Abstract: 将流体排出头的喷嘴孔直径做成0.01μm~25μm的微细孔径时,由于喷嘴微细化,排出的驱动电压能降低。通过在喷嘴部的外壁面形成对排出流体施加驱动电压用的电极部,缩短电极部与喷孔的距离。由此,静电吸引型流体排出装置中,兼顾喷嘴微细化和驱动电压低电压化,同时还可提高排出极限频率,并改善对排出材料的高电阻侧的选择性。
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