公开(公告)号：CN119503857A

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN202411967988.9

申请日：2024-12-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张凡 ,  袁薇 ,  曹峻毓

IPC: C01F17/235 ,  C01F17/10 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种具有大开口碗状形貌的纳米实心二氧化铈及其制备方法，具体为利用溶剂热法制备具有高比表面积及均匀粒径的碗状实心二氧化铈纳米粉体，能够满足新的制备技术对半导体表面平整度的要求，提升CMP工艺的整体性能和效率。本发明制备方法简易，对设备要求低；原材料价格低廉，不需要填加任何表面活性剂，重复性好，能够降低CMP工艺成本。

公开(公告)号：CN119954197A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510080636.X

申请日：2025-01-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张凡 ,  袁薇 ,  曹峻毓

IPC: C01F17/10 ,  C01F17/235 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明涉及一种以嵌段共聚物为模板制备介孔纳米二氧化铈粉体材料的方法，包括将六水合硝酸铈加入到乙醇和嵌段共聚物的混合物中进行反应，并经碳热还原获得介孔纳米二氧化铈。所得到的二氧化铈材料具有高活性、高分散性、三价铈含量高、尺寸均匀和比表面积大等优点。该制备方法步骤简易，对设备要求低，原材料价格低廉，重复性好，易于放大和工业化生产，从而降低CMP工艺成本。