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公开(公告)号：CN102347205A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110196808.8
申请日：2011-07-14
Applicant: 复旦大学
IPC: H01J63/08
Abstract: 本发明属于低温等离子体技术领域,具体为一种基于石英管引导的表面波等离子体光源。本发明采用石英管引导微波，通过表面波原理激发和电离石英管内工作气体产生等离子体,由等离子体的辐射光谱作为光源。该光源包括和由微型固态微波发生器、矩形波导和耦合器组成微波系统，以及由石英管、导电透明薄膜和工作气体组成的发光系统。本发明设备简单,结构紧凑，成本适中,效率较高，并可针对应用要求选择不同的工作气体产生相应光谱辐射，用于各种目的。该系统只要选择适当气体成分，也可作为照明光源，并实现一种无汞化的绿色照明的。光源系统各部分可以做成模块化，替换方便，且具有很高的稳定性。
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