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公开(公告)号：CN101591769B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200910054289.4
申请日：2009-07-02
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于二氧化钛光催化技术领域，具体涉及一种制备碳氮含量比例可调的共掺杂纳米二氧化钛薄膜的方法。本发明先采用反应磁控溅射镀膜方法制备C、N成分可调的TiCN薄膜，然后采用通常的热氧化方法处理TiCN薄膜，制备得碳氮共掺杂纳米二氧化钛薄膜，主要设备有磁控溅射镀膜系统和马弗炉。本发明制备的薄膜中，C和N的相对含量可以通过调节靶中碳、钛的面积比以及氮、氩体积比进行控制。该薄膜具有良好的可见光分解水的活性，光催化测试结果表明，薄膜具有明显的光催化降解亚甲基兰的活性，可在光催化降解有机污染物方面得到应用。
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