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公开(公告)号：CN119490818A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202411649415.1
申请日：2024-11-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于抛光材料领域，涉及一种具有核壳结构的氧化铈复合磨粒、其制备方法及应用。具有核壳结构的氧化铈复合磨粒包括实心氧化铈纳米球构成的内核，以及介孔氧化铈纳米材料构成的包覆壳层。氧化铈复合磨粒的内核结构致密，包覆壳层具有丰富的孔结构和较大的比表面积。氧化铈复合磨粒的表层为介孔氧化铈，能够使晶片表面的粗糙度下降。内核提供的内部支撑可以减少介孔氧化铈纳米材料的坍塌，使氧化铈复合磨粒具有较好的耐磨性能。相比单一的氧化铈颗粒，本发明的氧化铈复合磨粒的化学反应活性以及材料去除速率显著提升，可以在超精密表面的抛光过程中显著提高材料去除速率、抛光效率以及表面质量，以满足现代芯片行业的高精度制造工艺的需求。
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