公开(公告)号：CN113604862B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN202110865528.5

申请日：2021-07-29

Applicant: 复旦大学

Inventor： 余治昊 ,  周华 ,  蒋林华 ,  骆立钢 ,  郗上

IPC: C25D21/10 ,  C25D17/06 ,  C25D7/12

Abstract: 一种安全可靠智能化的半导体电镀设备，包括外壳，外壳内部转动连接横板，横板顶面设置数个电镀夹持装置，晶圆放置在电镀夹持装置内，外壳底面开设第一通孔，第一通孔内转动连接第一转轴，第一转轴外端套装从动齿轮，外壳底面固定安装电机，电机输出轴上套装主动齿轮，外壳顶端转动连接盖板，外壳内盛装电解液。本发明通过主动齿轮和从动齿轮带动第一转轴转动，第一转轴转动带动横板转动，横板转动从而带电镀夹持装置转动，此过程既可以起到搅拌电解液的作用，从而保证了电解液的溶度一致，保证电镀层的厚度一致，也能够使晶圆与电解液充分的接触，从而保证了电镀的效果，通过多组电镀夹持装置，保证可以一次性电镀多个晶圆，提高电镀效率。

公开(公告)号：CN113604862A

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202110865528.5

申请日：2021-07-29

Applicant: 复旦大学

Inventor： 余治昊 ,  周华 ,  蒋林华 ,  骆立钢 ,  郗上

IPC: C25D21/10 ,  C25D17/06 ,  C25D7/12

Abstract: 一种安全可靠智能化的半导体电镀设备，包括外壳，外壳内部转动连接横板，横板顶面设置数个电镀夹持装置，晶圆放置在电镀夹持装置内，外壳底面开设第一通孔，第一通孔内转动连接第一转轴，第一转轴外端套装从动齿轮，外壳底面固定安装电机，电机输出轴上套装主动齿轮，外壳顶端转动连接盖板，外壳内盛装电解液。本发明通过主动齿轮和从动齿轮带动第一转轴转动，第一转轴转动带动横板转动，横板转动从而带电镀夹持装置转动，此过程既可以起到搅拌电解液的作用，从而保证了电解液的溶度一致，保证电镀层的厚度一致，也能够使晶圆与电解液充分的接触，从而保证了电镀的效果，通过多组电镀夹持装置，保证可以一次性电镀多个晶圆，提高电镀效率。