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公开(公告)号：CN108353472A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680064995.5
申请日：2016-10-04
Applicant: 塞勒姆电子与微波工业应用研究公司
CPC classification number: H01J37/32229 , H05B6/702 , H05B6/80 , H05H1/46 , H05H2001/4622 , H05H2001/463
Abstract: 本发明涉及用于施加微波能量的元装置(1)，元装置包括同轴施加器(2)，同轴施加器具有远端部(21)和相反的近端部(22)，远端部设置有同轴结构连接件(3)，该同轴结构连接件用于与联接至微波能量发生器的同轴导引件或线缆(5)联接，近端部设置成暴露在封闭件(4)的内部，该同轴施加器包括：-传导性的中央芯(23)，中央芯沿着主轴线(AP)延伸；-护罩(24)，护罩具有周壁(240)和后壁(241)，周壁围绕该中央芯，后壁设置在所述远端部上并且相对于所述主轴线横向地延伸；-微波能量传播介质(25)，微波能量传播介质位于中央芯(23)与护罩(24)之间；以及-绝缘体(26)，绝缘体由就微波能量而言可透射的介电材料制成并且设置在所述近端部上；其中，同轴结构连接件设置有外导体(31)，外导体连接至所述护罩并且围绕连接至所述中央芯的内导体(32)，并且同轴结构连接件在设置于护罩的后壁上同时使得同轴结构连接件的外导体被固定在所述后壁上并且同轴结构连接件的内导体被连接至长形的连接元件(33)，连接元件33穿过所述后壁并且以相对于所述中央芯具有预定间距的方式平行于主轴线延伸直至下述自由端部：该自由端部在距所述后壁的预定距离处连接至所述中央芯。
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公开(公告)号：CN108353492A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680064747.0
申请日：2016-10-04
Applicant: 塞勒姆电子与微波工业应用研究公司
Abstract: 本发明涉及一种用于产生等离子体的基本装置(1)，包括：微波功率的同轴施加器(2)，该同轴施加器包括传导中央芯体(23)、包围所述中央芯体的传导外护罩(24)以及用于传播微波能量的介质(25)，所述介质位于中央芯体和护罩之间；以及用于耦合到微波发生器的系统(3)，该系统被放置在护罩上，其中，所述护罩具有利用由对微波能量透明的电介质材料制成的绝缘体(26)堵塞的近端，并且该绝缘体(26)具有被设置用于与位于室内部的待激励的气体接触的外表面(27)，并且其中，绝缘体从护罩向外延伸并且其外表面(27)是非平面的并且突出到护罩的外部，该体的外径从护罩至其顶端减小。本发明适用于产生等离子体的设备的领域。
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公开(公告)号：CN108353472B
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN201680064995.5
申请日：2016-10-04
Applicant: 塞勒姆电子与微波工业应用研究公司
Abstract: 本发明涉及用于施加微波能量的元装置(1)，元装置包括同轴施加器(2)，同轴施加器具有远端部(21)和相反的近端部(22)，远端部设置有同轴结构连接件(3)，该同轴结构连接件用于与联接至微波能量发生器的同轴导引件或线缆(5)联接，近端部设置成暴露在封闭件(4)的内部，该同轴施加器包括：‑传导性的中央芯(23)，中央芯沿着主轴线(AP)延伸；‑护罩(24)，护罩具有周壁(240)和后壁(241)，周壁围绕该中央芯，后壁设置在所述远端部上并且相对于所述主轴线横向地延伸；‑微波能量传播介质(25)，微波能量传播介质位于中央芯(23)与护罩(24)之间；以及‑绝缘体(26)，绝缘体由就微波能量而言可透射的介电材料制成并且设置在所述近端部上；其中，同轴结构连接件设置有外导体(31)，外导体连接至所述护罩并且围绕连接至所述中央芯的内导体(32)，并且同轴结构连接件在设置于护罩的后壁上同时使得同轴结构连接件的外导体被固定在所述后壁上并且同轴结构连接件的内导体被连接至长形的连接元件(33)，连接元件33穿过所述后壁并且以相对于所述中央芯具有预定间距的方式平行于主轴线延伸直至下述自由端部：该自由端部在距所述后壁的预定距离处连接至所述中央芯。
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公开(公告)号：CN108353492B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201680064747.0
申请日：2016-10-04
Applicant: 塞勒姆电子与微波工业应用研究公司
Abstract: 本发明涉及一种用于产生等离子体的基本装置(1)，包括：微波功率的同轴施加器(2)，该同轴施加器包括传导中央芯体(23)、包围所述中央芯体的传导外护罩(24)以及用于传播微波能量的介质(25)，所述介质位于中央芯体和护罩之间；以及用于耦合到微波发生器的系统(3)，该系统被放置在护罩上，其中，所述护罩具有利用由对微波能量透明的电介质材料制成的绝缘体(26)堵塞的近端，并且该绝缘体(26)具有被设置用于与位于室内部的待激励的气体接触的外表面(27)，并且其中，绝缘体从护罩向外延伸并且其外表面(27)是非平面的并且突出到护罩的外部，该体的外径从护罩至其顶端减小。本发明适用于产生等离子体的设备的领域。
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