公开(公告)号：CN115516598B

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202180022962.5

申请日：2021-03-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 齐藤尚也 ,  久保田大辅

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。

公开(公告)号：CN115516598A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202180022962.5

申请日：2021-03-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 齐藤尚也 ,  久保田大辅

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明涉及以电子束扫描晶圆、掩膜、面板、基板等工件而生成该工件的图像的扫描电子显微镜。本发明的扫描电子显微镜具备：偏转器(17、18)，它们使电子束偏转而以电子束扫描工件(W)上的目标区域(T)；以及偏转控制部(22)，其对偏转器(17、18)施加扫描电压和偏移电压，所述扫描电压使电子束扫描目标区域(T)，所述偏移电压将电子束从光轴中心(O)挪到目标区域(T)。