在半导体装置中的结构及其形成方法

    公开(公告)号:CN100536140C

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN200480029416.0

    申请日:2004-10-14

    CPC classification number: H01L23/5258 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 一种用于在通过聚焦辐射(52)的熔丝体删除期间保护电结构(25)的结构和相关方法。所述结构(1)包括熔丝元件(2)、保护板(10)、第一介质层(14),以及第二介质层(4)。结构(1)在半导体装置(5)中形成。保护板(10)利用镶嵌工艺在第一介质层(14)中形成。第二介质层(4)在保护板(10)和第一介质层(14)上形成。熔丝元件(2)在第二介质层(4)上形成。熔丝元件(2)适于通过激光束(52)切断。第二介质层(4)的介电常数大于第一介质层(14)的介电常数。保护板(10)适于保护第一介质层(14)不受来自激光束(52)的能量。

    用于激光删除钨熔丝的布线保护元件

    公开(公告)号:CN1864261A

    公开(公告)日:2006-11-15

    申请号:CN200480029416.0

    申请日:2004-10-14

    CPC classification number: H01L23/5258 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 一种用于在通过聚焦辐射(52)的熔丝体删除期间保护电结构(25)的结构和相关方法。所述结构(1)包括熔丝元件(2)、保护板(10)、第一介质层(14),以及第二介质层(4)。结构(1)在半导体装置(5)中形成。保护板(10)利用镶嵌工艺在第一介质层(14)中形成。第二介质层(4)在保护板(10)和第一介质层(14)上形成。熔丝元件(2)在第二介质层(4)上形成。熔丝元件(2)适于通过激光束(52)切断。第二介质层(4)的介电常数大于第一介质层(14)的介电常数。保护板(10)适于保护第一介质层(14)不受来自激光束(52)的能量。

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