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公开(公告)号：CN103081056A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201180042487.4
申请日：2011-08-30
Applicant: 国立大学法人东北大学
CPC classification number: H01J1/30 , H01J9/022 , H01J61/0675
Abstract: 本发明提供一种阴极体，其具有：作为基体的圆筒形杯（30）；设置在圆筒形杯（30）的表面的具有SiC的阻挡层（303）；以及形成在阻挡层（303）的表面的具有稀土元素的硼化物的膜，该阴极体能够防止基体的成分元素与硼化物的相互扩散。
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