低浓度两级配气系统
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203598762U

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201320725143.X

    申请日:2013-11-15

    Abstract: 本实用新型提供一种低浓度两级配气系统,其特征在于:原料气钢瓶依次经第一减压阀、第一电磁阀和第一质量流量控制器接第一混合器,稀释气钢瓶经第二减压阀分别接第二电磁阀和第三电磁阀,第二电磁阀的另一端经第二质量流量控制器接第一混合器,第一混合器的输出端依次经第一缓冲罐、压力变送器、第四电磁阀和第三质量流量控制器接第二混合器,第三电磁阀的另一端经第四质量流量控制器接第二混合器,第二混合器的输出端经第二缓冲罐分别接第一转子流量计、第六电磁阀和第二转子流量计,第六电磁阀的另一端接真空泵,压力变送器和第四电磁阀的连接处经第五电磁阀接四通阀的第三输入端。本系统实现了两级自动配气,稀释范围大,自动化精度高。

    六氟化硫气体自动取样及回充装置

    公开(公告)号:CN203606179U

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201320726278.8

    申请日:2013-11-15

    Abstract: 本实用新型提供一种六氟化硫气体自动取样及回充装置,其特征在于:包括第一电磁阀、第一单向阀、气缸、电动推杆、第二电磁阀和第二单向阀,其中第一电磁阀和第二电磁阀的一端均接六氟化硫电气设备,第一电磁阀的另一端经第一单向阀接气缸,第二电磁阀的另一端经第二单向阀接气缸,气缸的活塞杆与电动推杆固定连接。本实用新型能够实现自动取样和回冲功能,安装方便,设备维护简单。

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