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公开(公告)号：CN109100387A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810860524.6
申请日：2018-08-01
申请人： 四川大学
IPC分类号： G01N25/00
摘要： 本发明公开了一种测定高能束冲击平面时热流密度的方法。根据高能束在空气中传播时，截面热流密度大致遵循高斯分布的特性，当高能束作用于铁基材料一段时间后，材料会产生月牙形相变硬化，此月牙形相变区域的尺寸能直接反映出高能束的热流密度分布规律。通过仿真软件拟合，并调整系数得到相同相变区，进而将系数带入热流密度分布公式中，可得到截面热流密度分布。该发明所述方法，操作简单，无需专用接收靶板；能够得到连续的热流密度分布方程；且适用范围广极广。
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公开(公告)号：CN107920411A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201711111093.5
申请日：2017-11-13
申请人： 四川大学
摘要： 一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器，主要由直流等离子体发生器和射频感应耦合等离子体发生器两部分组成，与常见的用于硅基材料加工的射频耦合等离子发生器相比，本混合式等离子体发生器具有以下突出优点：1.加工效率高，在感应线圈磁场作用下二次激发电弧等离子体射流，单位时间内获得更多的能量激发工作气体，使得单位体积中反应活性粒子数量增加；2.优化点火过程，依靠阴极部分与阳极部分产生的电火花完成点火，克服传统射频感应耦合等离子体发生器点火过程易损伤石英玻璃管的问题；3.提升加工后硅基材料的表面质量，设定参数不变的条件下长时间保持恒定束斑直径的等离子体射流，实现对材料表面的确定性加工。
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公开(公告)号：CN107920411B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201711111093.5
申请日：2017-11-13
申请人： 四川大学
摘要： 一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器，其主要由直流等离子体发生器和射频感应耦合等离子体发生器两部分组成；所述的直流等离子体发生器主要由阴极部分、引弧外壳、第一阳极体、阳极外壳、第二阳极部分、第一绝缘套、第二绝缘套组成；所述射频感应耦合等离子体发生器主要由石英玻璃管、感应线圈组成；所述的阴极部分主要由阴极座和阴极头组成；所述的第一阳极体上端面与引弧外壳连接，下端面与第二绝缘套连接；所述第二阳极部分由阳极头和阳极尾盖组成；所述第一绝缘套内壁与阴极座配合，外壁与引弧外壳配合。本装置在线圈磁场的作用下二次激发电弧等离子体射流，提高反应活性粒子的激发效率，对于硅基材料的加工速率有很大提升。
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公开(公告)号：CN109100387B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201810860524.6
申请日：2018-08-01
申请人： 四川大学
IPC分类号： G01N25/00
摘要： 本发明公开了一种测定高能束冲击平面时热流密度的方法。根据高能束在空气中传播时，截面热流密度大致遵循高斯分布的特性，当高能束作用于铁基材料一段时间后，材料会产生月牙形相变硬化，此月牙形相变区域的尺寸能直接反映出高能束的热流密度分布规律。通过仿真软件拟合，并调整系数得到相同相变区，进而将系数带入热流密度分布公式中，可得到截面热流密度分布。该发明所述方法，操作简单，无需专用接收靶板；能够得到连续的热流密度分布方程；且适用范围广极广。
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公开(公告)号：CN207560425U
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201721500145.3
申请日：2017-11-13
申请人： 四川大学
摘要： 一种用于硅基材料加工的混合式等离子体发生器，其主要由直流等离子体发生器和射频感应耦合等离子体发生器两部分组成；所述的直流等离子体发生器主要由阴极部分、引弧外壳、第一阳极体、阳极外壳、第二阳极部分、第一绝缘套、第二绝缘套组成；所述射频感应耦合等离子体发生器主要由石英玻璃管、感应线圈组成；所述的阴极部分主要由阴极座和阴极头组成；所述的第一阳极体上端面与引弧外壳连接，下端面与第二绝缘套连接；所述第二阳极部分由阳极头和阳极尾盖组成；所述第一绝缘套内壁与阴极座配合，外壁与引弧外壳配合。本装置在线圈磁场的作用下二次激发电弧等离子体射流，提高反应活性粒子的激发效率，对于硅基材料的加工速率有很大提升。
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