一种分子泵
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107061315A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710344633.8

    申请日:2017-05-16

    Inventor: 陈博昊 张智明

    Abstract: 本发明公开了一种分子泵,包括,泵体,上电机座,主轴,为镜相对称结构,上、下安全轴承,上、下安全轴承座,上、下动叶轮,上、下静叶片组,电机,包括上、下电机定子及上、下电机转子,所述上、下电机定子均具有转矩绕组和悬浮绕组,该分子泵使用了钛合金叶片,重量轻,强度高,同时带来较高的一阶模态频率,提高了分子泵的极限转速;采用了镜像对称形状的主轴及两个动叶轮、两个电机定子均为对称分布的设计,改善了主轴转动过程中的稳定性;同时在一个电机定子上集成了转矩绕组和悬浮绕组,有效缩短了主轴长度,突破了传统分子泵的极限转速限制,在高真空下据有更高的压缩比,使分子泵应用于极高真空成为可能。

    一种分子泵
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107061315B

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN201710344633.8

    申请日:2017-05-16

    Inventor: 陈博昊 张智明

    Abstract: 本发明公开了一种分子泵,包括,泵体,上电机座,主轴,为镜相对称结构,上、下安全轴承,上、下安全轴承座,上、下动叶轮,上、下静叶片组,电机,包括上、下电机定子及上、下电机转子,所述上、下电机定子均具有转矩绕组和悬浮绕组,该分子泵使用了钛合金叶片,重量轻,强度高,同时带来较高的一阶模态频率,提高了分子泵的极限转速;采用了镜像对称形状的的主轴及两个动叶轮、两个电机定子均为对称分布的设计,改善了主轴转动过程中的稳定性;同时在一个电机定子上集成了转矩绕组和悬浮绕组,有效缩短了主轴长度,突破了传统分子泵的极限转速限制,在高真空下据有更高的压缩比,使分子泵应用于极高真空成为可能。

    一种多级差分密封的真空腔室

    公开(公告)号:CN207583247U

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201720541589.5

    申请日:2017-05-16

    Inventor: 陈博昊 张智明

    Abstract: 本实用新型公开了一种多级差分密封的真空腔室,包括:真空腔体、真空舱门、多个密封圈、多个环形密封圈安装槽、多个环形差抽气体导流槽、多个差抽排气孔以及用于将真空腔体与真空舱门连接起来的连接机构;其中,所述多个密封圈分别设置在所述多个环形密封圈安装槽中;所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽之上;所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间,形成交替分布,或者在真空腔体与真空舱门二者闭合之后,所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间,形成交替分布。利用多密封圈密封,结合差分抽气,提高了传统真空腔室的极限真空。

    一种气密插座
    5.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207009786U

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201720591037.5

    申请日:2017-05-25

    Inventor: 陈博昊 张智明

    Abstract: 本实用新型公开了一种气密插座,包括:金属外壳,包括第一凹腔、第二凹腔以及分隔第一凹腔与第二凹腔的隔板,在所述隔板上形成有多个贯通第一凹腔与第二凹腔的通孔;穿过所述通孔设置在金属外壳内部的金属柱,所述金属柱的第一段、第二段分别位于第一凹腔、第二凹腔内;导线,其与所述金属柱的第一段的末端连接,并突出高于所述第一凹腔的边缘高度;高介电常数的软质套管,其套在所述第一段的外周上以及部分的所述导线的外周上,并突出高于所述第一凹腔的边缘高度;灌注成型体,其灌注在所述第一凹腔内,并且高度与第一凹腔的边缘持平。该气密插座可以达到完全消除中高频气体放电的目的,大大提高了气密插座的可靠性。

    一种分子泵
    6.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207004861U

    公开(公告)日:2018-02-13

    申请号:CN201720540557.3

    申请日:2017-05-16

    Inventor: 陈博昊 张智明

    Abstract: 本实用新型公开了一种分子泵,包括,泵体,上电机座,主轴,为镜相对称结构,上、下安全轴承,上、下安全轴承座,上、下动叶轮,上、下静叶片组,电机,包括上、下电机定子及上、下电机转子,所述上、下电机定子均具有转矩绕组和悬浮绕组,该分子泵使用了钛合金叶片,重量轻,强度高,同时带来较高的一阶模态频率,提高了分子泵的极限转速;采用了镜像对称形状的主轴及两个动叶轮、两个电机定子均为对称分布的设计,改善了主轴转动过程中的稳定性;同时在一个电机定子上集成了转矩绕组和悬浮绕组,有效缩短了主轴长度,突破了传统分子泵的极限转速限制,在高真空下据有更高的压缩比,使分子泵应用于极高真空成为可能。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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