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一种分子泵转子及其制造方法
Abstract:
本发明公开了一种分子泵转子及其制造方法,该分子泵转子包括叶片和芯轴,其中叶片和芯轴由钛合金材料采用激光选区熔化技术一体化成型制成;该分子泵转子具有重量轻、高塑性和抗疲劳性能以及极高的机械强度和抗腐蚀性等特点。
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