射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂碳包覆的方法

    公开(公告)号:CN102064318B

    公开(公告)日:2013-05-01

    申请号:CN201010568975.6

    申请日:2010-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂碳包覆的方法。它是将磷酸铁锂置于反应室中,在反应性气体中,在射频等离子体下,反应15~60min,反应室的总气压维持在8~30Pa,射频等离子体的电源输出功率为40~100W,所述的反应性气体为乙炔或体积比为1∶1的氢气与甲烷的混合气体。利用本发明生成的碳包覆膜成份均匀,厚度容易控制,并且相比与常规的化学气相沉积,具有温度低,反应时间短的优点。制备的碳包覆LiFePO4材料晶体结构发育良好,XRD衍射测试结果中不含杂相,并且该碳包覆LiFePO4材料比容量大,倍率性能及循环性能优异。与金属锂组成扣式模拟电池测试,0.5C和1C时,首次放电容量分别为166.0mAh·g-1、和165mAh·g-1,50次循环后容量保持率分别为99.5%和99.3%。

    一种射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂导电层包覆的方法

    公开(公告)号:CN103956488B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201410156075.9

    申请日:2014-04-17

    Abstract: 本发明公开了一种射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂导电层包覆的方法。它包括以下步骤:将磷酸铁锂置于反应室中,在稀释的反应性气体中,在射频等离子体下,反应10~120min,反应室的总气压维持在10~1000Pa,射频等离子体的电源输出功率为60~400W,所述的稀释的反应性气体是由稀释气体和反应性气体按照体积比5~20:1混合而成,所述的反应性气体为硅烷、SiH3Cl、SiH2Cl2、硼烷、锗烷、磷烷或任意两者的混合气体,所述的稀释气体为氢气、氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气中的任意一种,由此而制得导电层包覆磷酸铁锂。本发明与常规的化学气相沉积相比,具有反应活性高,反应温度低,反应时间短的优点。

    一种射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂导电层包覆的方法

    公开(公告)号:CN103956488A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410156075.9

    申请日:2014-04-17

    CPC classification number: H01M4/366 H01M4/5825 H01M10/0525

    Abstract: 本发明公开了一种射频等离子体增强化学气相沉积实现磷酸铁锂导电层包覆的方法。它包括以下步骤:将磷酸铁锂置于反应室中,在稀释的反应性气体中,在射频等离子体下,反应10~120min,反应室的总气压维持在10~1000Pa,射频等离子体的电源输出功率为60~400W,所述的稀释的反应性气体是由稀释气体和反应性气体按照体积比5~20:1混合而成,所述的反应性气体为硅烷、SiH3Cl、SiH2Cl2、硼烷、锗烷、磷烷或任意两者的混合气体,所述的稀释气体为氢气、氮气、氦气、氖气、氩气、氪气、氙气中的任意一种,由此而制得导电层包覆磷酸铁锂。本发明与常规的化学气相沉积相比,具有反应活性高,反应温度低,反应时间短的优点。

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