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公开(公告)号：CN116937313A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310901135.4
申请日：2023-07-21
Applicant: 哈尔滨理工大学
IPC: H01S3/13 , G01B9/02001 , H01S3/134 , H01S3/131
Abstract: 用于单频激光干涉仪的激光热稳频装置，解决了现有激光热稳频装置易受环境干扰影响稳定性的问题，属于纳米级精度的位移测量技术领域。本发明包括：温度采集模块用于检测He‑Ne激光发生器谐振腔腔体的温度，输入至处理器；He‑Ne激光发生器发出的激光通过分光模块分成两束线偏振光，并转换为电流信号后输入至光电变换模块；光电变换模块将输入的电流信号转换成两路电压信号，两路电压信号的差分信号转换成单端电压信号，再输入至处理器；处理器根据收到的温度和单端电压信号通过PID控制算法调节PWM调制模块的PWM输出占空比，进而通过开关电路控制He‑Ne激光发生器供电电源的通断时间，分别在不同时间实现温度控制和稳频控制。
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