公开(公告)号：CN107611064B

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201710765590.0

申请日：2017-08-30

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵智力 ,  杨涛 ,  李睿 ,  白宇慧

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/60

Abstract: 一种用于铜柱栅阵列互连器件植柱工艺的装置，它涉及一种植柱工艺装置，具体涉及一种用于铜柱栅阵列互连器件植柱工艺的装置。本发明为了解决现有植柱装置及其采用的植柱方法焊柱易被刮伤、焊柱难以实现高精度对中及定位、不同规格器件需定制不同模具增加制作周期和成本的问题。本发明包括钻夹头平动运动机构、钻夹头转动运动组件、载物台组件和送料组件，所述钻夹头转动运动组件安装在所述钻夹头平动运动机构上，所述钻夹头转动运动组件设置在所述载物台组件的上方，所述送料组件设置在所述钻夹头转动运动组件的一侧。本发明属于电子产品领域。

公开(公告)号：CN107611064A

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201710765590.0

申请日：2017-08-30

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 赵智力 ,  杨涛 ,  李睿 ,  白宇慧

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/60

Abstract: 一种用于铜柱栅阵列互连器件植柱工艺的装置，它涉及一种植柱工艺装置，具体涉及一种用于铜柱栅阵列互连器件植柱工艺的装置。本发明为了解决现有植柱装置及其采用的植柱方法焊柱易被刮伤、焊柱难以实现高精度对中及定位、不同规格器件需定制不同模具增加制作周期和成本的问题。本发明包括钻夹头平动运动机构、钻夹头转动运动组件、载物台组件和送料组件，所述钻夹头转动运动组件安装在所述钻夹头平动运动机构上，所述钻夹头转动运动组件设置在所述载物台组件的上方，所述送料组件设置在所述钻夹头转动运动组件的一侧。本发明属于电子产品领域。